晶圆预对准系统定位算法的研究与电路的实现
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-20页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第16-18页 |
| 1.2.1 国外发展现状 | 第16-17页 |
| 1.2.2 国内发展现状 | 第17-18页 |
| 1.3 课题来源与主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第18页 |
| 1.3.2 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 晶圆预对准系统定位方案设计 | 第20-25页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 倒角机的组成及功能 | 第20-21页 |
| 2.3 晶圆预对准的原理 | 第21-23页 |
| 2.3.1 晶圆定位装置 | 第21-22页 |
| 2.3.2 定位角检测 | 第22页 |
| 2.3.3 晶圆边缘检测 | 第22-23页 |
| 2.4 晶圆预对准系统定位方案 | 第23-24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 晶圆预对准系统定位算法的研究与设计 | 第25-36页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 圆心定位 | 第25-27页 |
| 3.2.1 质心法 | 第25-26页 |
| 3.2.2 最小二乘圆拟合法 | 第26-27页 |
| 3.3 切边定位 | 第27-35页 |
| 3.3.1 圆弧与切边交点检测 | 第28-30页 |
| 3.3.2 切边中点检测 | 第30页 |
| 3.3.3 旋转角的计算 | 第30-34页 |
| 3.3.4 圆心到切边距离及切边长度检测 | 第34-35页 |
| 3.4 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 硬件设计 | 第36-53页 |
| 4.1 引言 | 第36页 |
| 4.2 硬件设计方案 | 第36-37页 |
| 4.3 基于FPGA的信号采集电路 | 第37-42页 |
| 4.3.1 FPGA简介 | 第37-38页 |
| 4.3.2 FPGA外围电路设计 | 第38-42页 |
| 4.4 基于微控制器的数据处理电路 | 第42-43页 |
| 4.4.1 LPC17系列微控制器 | 第42页 |
| 4.4.2 微控制器外围电路设计 | 第42-43页 |
| 4.5 功能模块电路设计 | 第43-52页 |
| 4.5.1 电源模块 | 第43-44页 |
| 4.5.2 编码器信号处理电路 | 第44-45页 |
| 4.5.3 细分辩向电路 | 第45-47页 |
| 4.5.4 模拟量转换电路 | 第47-48页 |
| 4.5.5 A/D采样电路 | 第48-51页 |
| 4.5.6 RS485通讯模块电路 | 第51-52页 |
| 4.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 软件设计 | 第53-62页 |
| 5.1 引言 | 第53页 |
| 5.2 基于FPGA的软件设计 | 第53-58页 |
| 5.2.1 分频模块 | 第54-55页 |
| 5.2.2 采样模块AD1601s | 第55-57页 |
| 5.2.3 存储模块SRAMWR | 第57-58页 |
| 5.3 基于微控制器的软件设计 | 第58-61页 |
| 5.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第六章 系统调试过程与结果分析 | 第62-82页 |
| 6.1 引言 | 第62页 |
| 6.2 定位电路功能测试 | 第62-64页 |
| 6.3 定位电路现场测试 | 第64-81页 |
| 6.4 本章小结 | 第81-82页 |
| 结论 | 第82-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
| 附录1：原理图 | 第87-88页 |
| 附录2：PCB图 | 第88-89页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第89页 |
