高加速宏微运动平台的动力学分析与测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| Contents | 第9-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·课题背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第12-18页 |
| ·精密运动平台概述 | 第12-13页 |
| ·国外研究现状 | 第13-14页 |
| ·国内研究现状 | 第14-18页 |
| ·精密运动平台减振概述 | 第18-21页 |
| ·论文研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 高加速宏微运动平台的设计 | 第23-37页 |
| ·宏微运动平台的结构设计 | 第23-25页 |
| ·宏微运动平台的组成与驱动 | 第25-30页 |
| ·宏动台 | 第25-26页 |
| ·微动台 | 第26-29页 |
| ·宏微运动平台的驱动方式 | 第29-30页 |
| ·宏微运动平台的双光栅尺位置检测 | 第30-33页 |
| ·增量式光栅尺与绝对式光栅尺 | 第30-33页 |
| ·宏微运动平台的位置定位方法 | 第33页 |
| ·宏微运动平台的集成系统开发 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 宏微运动平台的有限元分析 | 第37-47页 |
| ·ANSYS Workbench分析方法 | 第37-39页 |
| ·宏微运动平台的静力学特性分析 | 第39-42页 |
| ·宏微运动平台的模态分析 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 宏微运动平台动力学建模及减振分析 | 第47-65页 |
| ·宏微运动平台的动力学建模 | 第47-54页 |
| ·宏动台的动力学模型 | 第47-52页 |
| ·微动台的动力学模型 | 第52-54页 |
| ·宏微运动平台减振分析 | 第54-64页 |
| ·宏微运动平台隔振分析 | 第55-59页 |
| ·基于压电陶瓷的宏微运动平台减振分析 | 第59-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 宏微运动平台的实验研究 | 第65-79页 |
| ·宏微运动平台振动分析 | 第65-69页 |
| ·平台实验的仪器介绍 | 第65-66页 |
| ·振动分析试验方案 | 第66-69页 |
| ·宏微运动平台的性能测试 | 第69-78页 |
| ·用于平台精度检测的激光干涉仪 | 第69-70页 |
| ·宏微运动平台的压电陶瓷输出位移检测 | 第70-73页 |
| ·音圈电机性能测试 | 第73-75页 |
| ·宏微运动平台的定位精度检测 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 结论与展望 | 第79-81页 |
| 结论 | 第79-80页 |
| 展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-86页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第86-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
