| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-21页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·课题研究背景 | 第12页 |
| ·硅片搬运机器人国内外研究现状 | 第12-18页 |
| ·硅片自动传输系统概述 | 第12-13页 |
| ·硅片传输机器人的发展历史 | 第13-14页 |
| ·硅片传输机器人的研究现状 | 第14-18页 |
| ·发展半导体行业搬运机器人的必要性 | 第18-19页 |
| ·论文的主要内容 | 第19-21页 |
| 第2章 硅片搬运机器人的构型设计选型 | 第21-33页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·机器人机构构型的分类 | 第21-23页 |
| ·硅片搬运机器人的分类 | 第23-28页 |
| ·平面关节型(SCARA)机器人的特点 | 第25-26页 |
| ·径向直线伸缩(R-θ)型机器人的特点 | 第26-27页 |
| ·R-θ型机器人直线伸缩运动分析 | 第27-28页 |
| ·硅片搬运机器人选型的研究 | 第28-32页 |
| ·硅片搬运机器人设计原则 | 第28-29页 |
| ·EFEM模块简介 | 第29-31页 |
| ·基于EFEM模块的硅片搬运机器人构型的选定 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 关节型机器人轨迹规划的研究 | 第33-47页 |
| ·机器人轨迹规划的研究现状 | 第33-34页 |
| ·机器人运动学模型的建立 | 第34-36页 |
| ·冗余度机器人 | 第36-38页 |
| ·冗余自由度机器人运动学的基本问题 | 第36-38页 |
| ·基于分解运动速度的逆解求法 | 第38页 |
| ·冗余自由度运动学优化性能指标 | 第38-41页 |
| ·机器人避障指标 | 第39-40页 |
| ·机器人运动灵活性指标 | 第40-41页 |
| ·机器人关节位移极限 | 第41页 |
| ·机器人轨迹规划 | 第41-46页 |
| ·轨迹规划的一般性问题 | 第42-44页 |
| ·机器人轨迹插值计算 | 第44-45页 |
| ·关节轨迹的插值算法 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 机器人的轨迹规划及仿真 | 第47-59页 |
| ·运动学方程的建立 | 第48-49页 |
| ·一种基于机器人灵活性逆解求法 | 第49-53页 |
| ·性能指标的选择 | 第49-50页 |
| ·运动学方程逆解求法 | 第50-51页 |
| ·运动轨迹描述的选取 | 第51-53页 |
| ·第一运动轨迹的数值仿真 | 第53-56页 |
| ·基于机器人灵活性的验证分析 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 硅片搬运机器人关键部件结构优化及有限元分析 | 第59-69页 |
| ·硅片搬运机器人关键部件结构简介 | 第59-62页 |
| ·机身立柱组件的结构优化改进 | 第60页 |
| ·旋转组件的结构优化改进 | 第60-62页 |
| ·SolidWorks Simulation有限元分析流程 | 第62-64页 |
| ·Simulation有限元求解问题的基本思路 | 第62页 |
| ·Simulation的分析步骤 | 第62-64页 |
| ·优化改进方案的可行性分析 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 结论与建议 | 第69-71页 |
| ·结论 | 第69页 |
| ·建议 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 附录 | 第77-79页 |