| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| ·MOCVD 概述 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-14页 |
| ·市场前景 | 第14-15页 |
| ·研究内容和论文安排 | 第15-17页 |
| 2 计算流体力学的基础理论和数值计算 | 第17-30页 |
| ·流体力学的基本理论 | 第17-22页 |
| ·数值计算方法 | 第22-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 圆周均流设计 | 第30-49页 |
| ·缓冲式互补均流 | 第30-43页 |
| ·变向式均流 | 第43-49页 |
| 4.喷淋均匀性 | 第49-65页 |
| ·喷淋结构设计 | 第51-55页 |
| ·喷淋缓冲环设计 | 第55-62页 |
| ·喷淋缓冲环设计实例 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 5 总结与展望 | 第65-66页 |
| ·全文总结 | 第65页 |
| ·对后续工作的展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第70页 |