大行程纳米定位驱动控制方法与系统研究
| 致谢 | 第1-9页 |
| 摘要 | 第9-11页 |
| ABSTRACT | 第11-19页 |
| 第一章 绪论 | 第19-29页 |
| ·研究的重要性与意义 | 第19页 |
| ·大行程纳米定位驱动控制系统研究现状与发展 | 第19-25页 |
| ·研制的纳米三坐标测量机总体结构设计方案 | 第25-27页 |
| ·课题来源与研究内容 | 第27-29页 |
| ·课题来源 | 第27-28页 |
| ·论文的研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 双模态超声波电机的小波差动驱动模式研究 | 第29-47页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·驱动原理与驱动模式 | 第30-35页 |
| ·驱动原理 | 第30-31页 |
| ·驱动模式 | 第31-33页 |
| ·交流驱动特性 | 第33-34页 |
| ·驱动步距 | 第34-35页 |
| ·小波差动驱动模式的研究 | 第35-41页 |
| ·等效电路 | 第36-37页 |
| ·小波驱动 | 第37页 |
| ·差动驱动 | 第37-39页 |
| ·小波差动驱动特性 | 第39-40页 |
| ·纳米驱动与定位条件 | 第40-41页 |
| ·驱动电路设计 | 第41-47页 |
| ·小波合成与控制电路 | 第42-44页 |
| ·升压电路 | 第44-46页 |
| ·差动电路 | 第46-47页 |
| 第三章 BUSM大行程纳米定位驱动控制 | 第47-69页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·光栅位移测量方法研究 | 第48-61页 |
| ·互补函数算式的光栅细分算法研究 | 第48-54页 |
| ·光栅信号采集处理方法研究 | 第54-57页 |
| ·光栅测量装置的特性标定 | 第57-61页 |
| ·BUSM的步进驱动与纳米定位控制 | 第61-69页 |
| ·工作台驱动条件分析 | 第61-64页 |
| ·驱动控制 | 第64-69页 |
| 第四章 TPMLSM的偏心阻尼驱动方法研究 | 第69-84页 |
| ·引言 | 第69页 |
| ·TPMLSM的工作原理 | 第69-72页 |
| ·电磁扰动产生原因 | 第72-73页 |
| ·永磁同步电机矢量控制 | 第73-77页 |
| ·抗电磁扰动驱动研究 | 第77-84页 |
| ·TPMLSM受力图 | 第77-78页 |
| ·偏心结构 | 第78页 |
| ·电磁扰动抑制 | 第78-80页 |
| ·稳态波动标定 | 第80-84页 |
| 第五章 TPMLSM大行程纳米定位驱动控制 | 第84-107页 |
| ·引言 | 第84页 |
| ·系统组成与构建 | 第84-87页 |
| ·系统组成 | 第84-85页 |
| ·系统构建 | 第85-87页 |
| ·定位驱动控制 | 第87-96页 |
| ·定位曲线 | 第88-89页 |
| ·控制算法 | 第89页 |
| ·固定参数控制模式 | 第89-90页 |
| ·变参数控制模式 | 第90-91页 |
| ·定位控制结果 | 第91-96页 |
| ·控制参数学习 | 第96-104页 |
| ·驱动控制阶段参数学习 | 第97-103页 |
| ·定位控制阶段参数学习 | 第103-104页 |
| ·工作台驱动特性标定 | 第104-107页 |
| 第六章 总结与展望 | 第107-110页 |
| ·研究工作的总结 | 第107-108页 |
| ·研究工作的展望 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-116页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及参加的科研项目 | 第116-117页 |
