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ZnO荧光薄膜的制备与硫化研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 引言第7-11页
   ·荧光材料的要求及存在的问题第7-9页
   ·荧光层表面形貌的要求及现存的问题第9-11页
第二章 理论基础第11-30页
   ·ZnO的性质及应用第11-14页
     ·ZnO的基本性质第11-12页
     ·ZnO中的缺陷第12-14页
   ·ZnO荧光薄膜的发光机理第14-23页
     ·光电显示材料的分类第14-15页
     ·材料发光的基本原理第15-18页
     ·阴极射线激发材料发光的过程第18-19页
     ·ZnO的发光机制研究第19-23页
   ·ZnO薄膜的常用制备方法第23-26页
     ·分子束外延第23-24页
     ·金属有机化学气相淀积(MOCVD)第24页
     ·电子束蒸发第24-25页
     ·溶胶-凝胶法(sol-gel)第25-26页
   ·ZnO薄膜的应用第26-29页
   ·选题意义及研究内容第29-30页
第二章 ZnO薄膜的制备第30-34页
   ·脉冲激光沉积方法及原理第30-32页
   ·实验样品制备工艺第32-34页
第四章 ZnO薄膜的PLD生长第34-47页
   ·纳米ZnO荧光薄膜的结构特性第34-42页
     ·X射线衍射(XRD)原理第34-35页
     ·激光脉冲能量对ZnO薄膜结构特性的影响第35-37页
     ·靶材与衬底间距对ZnO薄膜结构特性的影响第37-40页
     ·氧气压强对ZnO薄膜结构特性的影响第40-42页
   ·ZnO薄膜的表面形貌第42-47页
     ·激光脉冲能量对ZnO薄膜表面形貌的影响第42-43页
     ·靶材与衬底间距对ZnO薄膜表面形貌的影响第43-45页
     ·氧气压强对ZnO薄膜表面形貌的影响第45-47页
第五章 ZnO荧光薄膜的硫化研究第47-57页
   ·ZnO荧光薄膜的硫化实验第47-48页
   ·硫化后ZnO荧光薄膜的结构特性第48-50页
     ·硫化时间对ZnO荧光薄膜结构特性的影响第48页
     ·硫化温度硫化时间对ZnO荧光薄膜结构特性的影响第48-50页
   ·硫化后薄膜的能谱分析第50页
   ·硫化后ZnO荧光薄膜的表面形貌第50-54页
     ·不同硫化时间时硫化薄膜的表面形貌第50-54页
     ·不同硫化温度时硫化薄膜的表面形貌第54页
   ·硫化ZnO荧光薄膜的光致发光特性第54-57页
     ·硫化时间对荧光薄膜发光性能的影响第54-55页
     ·硫化温度对荧光薄膜发光性能的影响第55-57页
第六章 结论第57-58页
参考文献第58-63页
致谢第63-64页
附录第64页

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