| 第一章 概述 | 第1-17页 |
| ·溶胶-凝胶法简介 | 第7-13页 |
| ·溶胶-凝胶法的基本原理 | 第7-8页 |
| ·溶胶-凝胶法的工艺过程 | 第8-9页 |
| ·溶胶-凝胶法的影响因素 | 第9-10页 |
| ·溶胶-凝胶法的特点 | 第10页 |
| ·溶胶形成的条件 | 第10页 |
| ·溶胶老化的机理 | 第10-11页 |
| ·胶体的稳定性 | 第11-13页 |
| ·ZnO材料的性质 | 第13-14页 |
| ·ZnO薄膜制备方法简介 | 第14-17页 |
| ·蒸发法 | 第14-15页 |
| ·热解喷涂法 | 第15页 |
| ·化学气相沉积法 | 第15-16页 |
| ·分子束外延法 | 第16页 |
| ·原子层外延法 | 第16-17页 |
| 第二章 ZnO薄膜的制备 | 第17-20页 |
| ·溶胶的合成 | 第17页 |
| ·衬底的选择 | 第17-18页 |
| ·薄膜的制备 | 第18-19页 |
| ·制备工艺流程 | 第19-20页 |
| 第三章 ZnO薄膜的表征 | 第20-37页 |
| ·引言 | 第20-21页 |
| ·XRD工作原理 | 第21-23页 |
| ·XRD对ZnO薄膜的研究 | 第23-28页 |
| ·退火环境对ZnO薄膜结构的影响 | 第23-25页 |
| ·退火时间对ZnO薄膜结构的影响 | 第25-26页 |
| ·退火温度对ZnO薄膜结构的影响 | 第26-28页 |
| ·ZnO薄膜光致发光的表征 | 第28-33页 |
| ·光致发光(Photoluminescence，PL)光谱 | 第28-30页 |
| ·ZnO溶胶的光致发光(PL)光谱 | 第30-31页 |
| ·ZnO薄膜的光致发光(PL)光谱 | 第31-33页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)对ZnO薄膜的表征 | 第33-35页 |
| ·SEM的工作原理 | 第33-34页 |
| ·SEM对ZnO薄膜结构的表征 | 第34-35页 |
| 本章小结 | 第35-37页 |
| 总结 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-43页 |
| 研究成果 | 第43-45页 |
| 致谢 | 第45页 |