| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目次 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-23页 |
| ·论文研究的背景及意义 | 第12-13页 |
| ·高精度主轴回转误差测量简介 | 第13-14页 |
| ·国内外的相关研究现状 | 第14-20页 |
| ·国外研究情况 | 第14-17页 |
| ·国内研究情况 | 第17-20页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第2章 电容传感器边缘效应研究 | 第23-33页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·边缘效应产生原理 | 第23-24页 |
| ·边缘效应引起的附加电容计算 | 第24-26页 |
| ·边缘效应的消减措施 | 第26-31页 |
| ·等电位环保护法 | 第26-28页 |
| ·控制极板厚度 | 第28-30页 |
| ·基于PCB工艺方法 | 第30-31页 |
| ·边缘效应消减方法对比分析 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 柱状电容传感器的多维位移测量原理分析和仿真研究 | 第33-57页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·柱状电容传感器简介 | 第33-34页 |
| ·柱状电容传感器的多维位移测量原理分析 | 第34-38页 |
| ·柱状电容传感器电容计算 | 第34-35页 |
| ·柱状电容传感器用于主轴跳动误差测量 | 第35-37页 |
| ·柱状电容传感器用于主轴偏转误差测量 | 第37-38页 |
| ·柱状电容传感器参数仿真研究 | 第38-44页 |
| ·径向距离对电容的影响 | 第39-40页 |
| ·极板厚度对电容的影响 | 第40-41页 |
| ·极板轴向长度对电容的影响 | 第41-42页 |
| ·极板圆周张角对电容的影响 | 第42页 |
| ·极板数目对电容的影响 | 第42-44页 |
| ·应用柱状电容传感器的主轴误差测量仿真研究 | 第44-56页 |
| ·柱状电容传感器用于跳动误差测量仿真 | 第44-54页 |
| ·柱状电容传感器用于主轴偏转误差测量的仿真 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第4章 基于柱状电容传感器的主轴回转误差测量模拟实验平台设计 | 第57-69页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·基于柱状电容传感器的主轴回转误差测量模拟实验平台结构设计 | 第57-59页 |
| ·柱状电容传感器的电极结构设计 | 第58页 |
| ·辅助装置设计 | 第58-59页 |
| ·电容检测电路设计 | 第59-68页 |
| ·检出电路 | 第60-63页 |
| ·交流放大电路 | 第63-64页 |
| ·相敏检波电路 | 第64-66页 |
| ·低通滤波电路 | 第66-67页 |
| ·电路抗干扰设计 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 柱状电容传感器的实验研究 | 第69-80页 |
| ·柱状电容传感器实验平台的构建 | 第69-72页 |
| ·传感器检测电路的制作 | 第69-70页 |
| ·柱状电容传感器的装配 | 第70-71页 |
| ·实验平台的构建 | 第71-72页 |
| ·数据采集和处理程序 | 第72页 |
| ·柱状电容传感器的实验研究 | 第72-79页 |
| ·检测电路的稳定性实验 | 第72-75页 |
| ·主轴径向跳动误差的测量实验 | 第75-79页 |
| ·实验结果 | 第79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 第6章 结论和展望 | 第80-83页 |
| ·结论 | 第80-81页 |
| ·展望 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |
| 作者简历 | 第88-89页 |
