光学薄膜应力的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| ·光学薄膜的应用 | 第9页 |
| ·光学薄膜的制备方法 | 第9-11页 |
| ·薄膜的微结构特性 | 第11-13页 |
| ·薄膜的应力 | 第13-18页 |
| ·薄膜应力的成因 | 第14-16页 |
| ·薄膜应力的测量 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究内容和创新点 | 第18-20页 |
| ·本文的主要内容 | 第18页 |
| ·本文的创新点 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-23页 |
| 第二章 光学薄膜应力的基础理论 | 第23-33页 |
| ·薄膜应力产生机制 | 第23-25页 |
| ·薄膜应力的分析模型及理论 | 第25-27页 |
| ·热应力 | 第27-32页 |
| ·薄膜厚度远小于基板厚度时热应力的计算 | 第27-28页 |
| ·薄膜厚度非远小于基板厚度时热应力的计算 | 第28-32页 |
| 参考文献 | 第32-33页 |
| 第三章 薄膜应力对薄膜牢固性的作用及模拟 | 第33-50页 |
| ·薄膜的断裂理论 | 第33-41页 |
| ·薄膜断裂的实验结果及分析 | 第41-43页 |
| ·实验结果 | 第41-43页 |
| ·讨论与分析 | 第43页 |
| ·薄膜中热应力的有限元分析 | 第43-48页 |
| ·单层薄膜热应力的有限元分析 | 第44-46页 |
| ·多层薄膜热应力的有限元分析 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第四章 实际薄膜的应力分析 | 第50-75页 |
| ·薄膜热膨胀系数及弹性模量的测量理论 | 第50-61页 |
| ·薄膜热膨胀系数测量的基本理论 | 第51-52页 |
| ·薄膜热膨胀系数测量的方法 | 第52-54页 |
| ·薄膜热膨胀系数测量的实验结果 | 第54-61页 |
| ·实际薄膜中应力成分的分析 | 第61-74页 |
| ·薄膜材料对应力的影响 | 第62页 |
| ·沉积参数对实际薄膜应力成分的影响 | 第62-73页 |
| ·退火老化处理对应力及其成分的影响 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-75页 |
| 第五章 总结和展望 | 第75-76页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
