采用MEMS技术研制硅气体流速传感器
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·目的意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展概况 | 第9-18页 |
| ·本课题主要的研究工作 | 第18-20页 |
| ·研究内容 | 第18-19页 |
| ·本论文的内容组织 | 第19-20页 |
| 第2章 硅气体流速传感器的工作原理及总体设计 | 第20-27页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·风速传感器气体流场模型 | 第20-21页 |
| ·热线热膜风速计恒流模式下动态响应 | 第21-22页 |
| ·传感器工作原理 | 第22-23页 |
| ·传感器总体结构设计 | 第23-26页 |
| ·传感器总体外形结构设计 | 第23-24页 |
| ·传感器芯片结构设计 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 硅气体流速传感器的研制 | 第27-38页 |
| ·引言 | 第27页 |
| ·研制硅气体流速传感器的关键工艺介绍 | 第27-36页 |
| ·薄膜工艺 | 第27-29页 |
| ·光刻 | 第29-34页 |
| ·悬桥制作 | 第34-36页 |
| ·工艺流程 | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 硅气体流速传感器的电路设计 | 第38-46页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·电源电路 | 第38-40页 |
| ·检测及放大电路 | 第40-45页 |
| ·电路工作原理 | 第40-42页 |
| ·集成运放选择 | 第42页 |
| ·电路的实现 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第46-57页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·传感器的一般性能 | 第46-47页 |
| ·传感器静态校准方法 | 第47-49页 |
| ·风速风向传感器测试装置 | 第47-48页 |
| ·流速与流量的转换 | 第48页 |
| ·传感器静态特性的校准 | 第48-49页 |
| ·性能测试结果 | 第49-55页 |
| ·风速测量 | 第49-53页 |
| ·温度风速二维传感单元数据融合 | 第53-55页 |
| ·测试结果分析 | 第55-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
