| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| Acknowledgement | 第6-13页 |
| Chapter 1 Introduction | 第13-17页 |
| ·Literature Review on Trajectory Planning | 第13-14页 |
| ·Literature Review on Optimal Design | 第14-15页 |
| ·Contribution | 第15-16页 |
| ·Thesis Outline | 第16-17页 |
| Chapter 2 Mathematical Modeling of Wafer Handling Robots | 第17-25页 |
| ·Rigid Kinematics of Wafer Handling Robots | 第17-21页 |
| ·Forward Kinematics | 第17-19页 |
| ·Inverse Kinematics | 第19-21页 |
| ·Rigid Dynamics of Wafer Handling Robots | 第21-24页 |
| ·Model Transformation | 第22-24页 |
| ·Summary | 第24-25页 |
| Chapter 3 Control Scheme and Controller Design | 第25-32页 |
| ·Position Control and Trajectory Tracking | 第25-26页 |
| ·Control Algorithm | 第26-29页 |
| ·PD Control Scheme | 第27-28页 |
| ·Computed Torque Control | 第28-29页 |
| ·Motion Control of WHR | 第29-31页 |
| ·Control Architecture | 第29-30页 |
| ·Joint Space Control | 第30页 |
| ·Task Space Control | 第30-31页 |
| ·Summary | 第31-32页 |
| Chapter 4 Optimal Trajectory Planning | 第32-51页 |
| ·Minimum-Time Control with Geometric Path Constraints | 第32-41页 |
| ·Parameterized Robot Dynamics with Input Torque Constraints | 第33-35页 |
| ·Formulation of Optimal Control Problem | 第35-36页 |
| ·Determination of Optimal Trajectories | 第36-40页 |
| ·Simulation | 第40-41页 |
| ·Time-Energy Optimal Trajectory Planning | 第41-50页 |
| ·Problem Formulation | 第43-44页 |
| ·Problem Formulation II | 第44-45页 |
| ·Structure of the Optimal Control | 第45-48页 |
| ·Numerical Solution | 第48-49页 |
| ·Simulation | 第49-50页 |
| ·Summary | 第50-51页 |
| Chapter 5 Trajectory Oriented Optimal Manipulator Design | 第51-60页 |
| ·Introduction of Optimal Design | 第51-52页 |
| ·Optimal Design Formulation | 第52-57页 |
| ·Model Dynamics | 第52-53页 |
| ·Multi-objective Trajectory Planning | 第53-55页 |
| ·Global Optimal Algorithm | 第55-57页 |
| ·Results and Analysis | 第57-59页 |
| ·Summary | 第59-60页 |
| Chapter 6 Conclusion | 第60-61页 |
| References | 第61-65页 |
