化学气相传输法制备ZnO薄膜的探索性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 引言 | 第8-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·ZnO的结构和性能 | 第10-13页 |
| ·ZnO的晶体结构和基本性质 | 第10-11页 |
| ·ZnO的光学性能 | 第11-12页 |
| ·ZnO的电学性能 | 第12页 |
| ·ZnO的压电性能 | 第12页 |
| ·ZnO的压敏性能 | 第12-13页 |
| ·ZnO的气敏性能 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的应用 | 第13-15页 |
| ·ZnO基发光器件 | 第13-14页 |
| ·紫外探测器 | 第14页 |
| ·透明电极 | 第14页 |
| ·压电器件 | 第14-15页 |
| ·压敏器件 | 第15页 |
| ·气敏器件 | 第15页 |
| ·ZnO材料的研究进展 | 第15-21页 |
| ·ZnO发光器件的研究进展 | 第16页 |
| ·ZnO纳米器件的研究进展 | 第16-19页 |
| ·ZnO多层膜结构的研究进展 | 第19-21页 |
| 2 ZnO的制备方法及表征手段 | 第21-34页 |
| ·ZnO的制备方法 | 第21-24页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第21-22页 |
| ·分子束外延 | 第22页 |
| ·溅射 | 第22-23页 |
| ·化学气相沉积 | 第23页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第23页 |
| ·超声喷雾热分解法 | 第23-24页 |
| ·ZnO的表征手段 | 第24-34页 |
| ·X射线衍射 | 第24-26页 |
| ·透射电子显微镜 | 第26-28页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第28-29页 |
| ·原子力显微镜 | 第29-30页 |
| ·光致发光谱 | 第30-31页 |
| ·霍尔效应 | 第31-34页 |
| 3 化学气相传输法制备ZnO体单晶 | 第34-38页 |
| ·样品制备过程 | 第34页 |
| ·理论依据 | 第34-35页 |
| ·研究进展 | 第35-38页 |
| 4 化学气相传输法制备ZnO薄膜及其表征 | 第38-49页 |
| ·理论依据 | 第38-39页 |
| ·实验仪器和设备 | 第39-40页 |
| ·化学气相传输法生长ZnO薄膜优化条件的探索 | 第40-43页 |
| ·样品制备过程 | 第40页 |
| ·结果与分析 | 第40-43页 |
| ·小结 | 第43页 |
| ·衬底对化学气相传输法生长ZnO薄膜的影响 | 第43-49页 |
| ·样品制备过程 | 第43-44页 |
| ·结果与分析 | 第44-48页 |
| ·小结 | 第48-49页 |
| 结论 | 第49-51页 |
| 参考文献 | 第51-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
