MEMS集成甲醛传感器设计及性能检测研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 甲醛气体传感器国内外研究现状及分析 | 第11-12页 |
| 1.3 半导体传感器结构的发展 | 第12-14页 |
| 1.4 课题来源及主要研究内容 | 第14-16页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第14-15页 |
| 1.4.2 课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 传感器结构设计及仿真 | 第16-28页 |
| 2.1 设计要求及分析 | 第16-18页 |
| 2.1.1 传感器结构原理分析 | 第16-17页 |
| 2.1.2 传感器结构初步设计 | 第17-18页 |
| 2.2 传感器结构优化及有限元分析 | 第18-27页 |
| 2.2.1 有限元热理论分析 | 第18-19页 |
| 2.2.2 传感器加热电极宽度优化 | 第19-23页 |
| 2.2.3 传感器加热电极间距优化 | 第23-25页 |
| 2.2.4 热应力分析 | 第25-27页 |
| 2.3 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 传感器的制备工艺 | 第28-39页 |
| 3.1 传感器的制备工艺流程 | 第28页 |
| 3.2 微电极制备 | 第28-29页 |
| 3.3 敏感材料制备 | 第29-32页 |
| 3.4 ZnO 气敏机理与分析 | 第32-33页 |
| 3.5 纳米氧化锌气敏性最优工艺 | 第33-37页 |
| 3.5.1 煅烧温度、时间最优化选择 | 第33-35页 |
| 3.5.2 加热电压最优化选择 | 第35页 |
| 3.5.3 催化剂掺杂最优化选择 | 第35-37页 |
| 3.6 本章小结 | 第37-39页 |
| 第4章 检测电路的软硬件设计 | 第39-45页 |
| 4.1 硬件电路设计 | 第39-42页 |
| 4.1.1 芯片及环境测温电路设计 | 第39-41页 |
| 4.1.2 芯片加热电路设计 | 第41-42页 |
| 4.1.3 气体浓度信号检测电路设计 | 第42页 |
| 4.2 软件设计 | 第42-44页 |
| 4.2.1 软件整体结构设计 | 第43页 |
| 4.2.2 芯片温度控制设计 | 第43-44页 |
| 4.3 本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 传感器性能测试与分析 | 第45-52页 |
| 5.1 气体传感器的主要性能参数 | 第45页 |
| 5.2 系统测试 | 第45-48页 |
| 5.2.1 选择性 | 第45-46页 |
| 5.2.2 响应-恢复特性 | 第46-47页 |
| 5.2.3 一致性 | 第47-48页 |
| 5.2.4 重复性 | 第48页 |
| 5.3 甲醛浓度参数标定及拟合 | 第48-50页 |
| 5.4 测试结果误差原因分析 | 第50-51页 |
| 5.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
