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蓝宝石和LSAT衬底上氧化钛薄膜的制备及性质研究

摘要第10-12页
ABSTRACT第12-14页
符号说明第15-17页
第一章 绪论第17-35页
    1.1 概述第17-18页
    1.2 TiO_2薄膜的性质及应用第18-23页
        1.2.1 结构性质第18-19页
        1.2.2 光电性质第19-20页
        1.2.3 TiO_2薄膜的应用第20-23页
    1.3 TiO_2薄膜的研究现状第23-24页
    1.4 课题的选取及研究内容第24-26页
    本章参考文献第26-35页
第二章 薄膜制备方法及性质测试分析第35-53页
    2.1 TiO_2薄膜的制备方法第35-38页
        2.1.1 脉冲激光沉积第35-36页
        2.1.2 溅射第36页
        2.1.3 化学气相沉积第36-37页
        2.1.4 原子层沉积第37页
        2.1.5 分子束外延第37-38页
        2.1.6 溶胶-凝胶法第38页
    2.2 金属有机化学气相沉积(MOCVD)介绍第38-43页
        2.2.1 MOCVD的原理和特点第38-39页
        2.2.2 本论文使用的MOCVD系统第39-43页
    2.3 样品的制备第43-45页
        2.3.1 实验前的准备第43-44页
        2.3.2 薄膜生长的工艺流程第44-45页
    2.4 薄膜性质测试方法第45-50页
        2.4.1 结构和形貌分析第45-48页
        2.4.2 元素成分分析第48-49页
        2.4.3 光学性质分析第49-50页
    本章参考文献第50-53页
第三章 蓝宝石衬底上TiO_2薄膜制备和性质研究第53-77页
    3.1 蓝宝石衬底的选取及TiO_2薄膜的制备第53-54页
    3.2 A面蓝宝石衬底上TiO_2薄膜的性质研究第54-59页
        3.2.1 衬底温度对TiO_2薄膜结构的影响第54-56页
        3.2.2 TiO_2薄膜的元素组分分析第56-58页
        3.2.3 TiO_2薄膜的光学性质第58-59页
    3.3 C面蓝宝石衬底上TiO_2薄膜的性质研究第59-64页
        3.3.1 衬底温度对TiO_2薄膜结构的影响第59-61页
        3.3.2 TiO_2薄膜的元素组分分析第61-63页
        3.3.3 TiO_2薄膜的光学性质第63-64页
    3.4 M面蓝宝石衬底上TiO_2薄膜的性质研究第64-74页
        3.4.1 衬底温度对TiO_2薄膜结构的影响第64-65页
        3.4.2 生长速率对TiO_2薄膜结构的影响第65-67页
        3.4.3 TiO_2薄膜的外延生长机理和微结构第67-70页
        3.4.4 TiO_2薄膜的元素组分分析第70-72页
        3.4.5 TiO_2薄膜的光学性质分析第72-74页
    本章参考文献第74-77页
第四章 LSAT衬底上TiO_2薄膜制备和性质研究第77-89页
    4.1 LSAT(001)衬底上TiO_2薄膜的制备第77-78页
    4.2 TiO_2薄膜结构性质的研究第78-82页
        4.2.1 衬底温度对薄膜结构的影响第78-79页
        4.2.2 衬底温度对薄膜表面形貌的影响第79-81页
        4.2.3 生长速率对薄膜结构的影响第81-82页
    4.3 TiO_2薄膜的外延及微结构分析第82-84页
    4.4 TiO_2薄膜的元素组分分析第84-86页
    4.5 TiO_2薄膜的光学性质第86-88页
    本章参考文献第88-89页
第五章 结论第89-91页
硕士期间发表论文目录第91-92页
致谢第92-93页
Paper第93-98页
附件第98页

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