| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 多功能集成化传感器研究现状 | 第9-26页 |
| 1.1.1 国内研究现状 | 第9-17页 |
| 1.1.2 国外研究现状 | 第17-26页 |
| 1.2 磁场/压力/加速度传感器研究目的和意义 | 第26-27页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 磁场/压力/加速度传感器基本结构与工作原理 | 第29-38页 |
| 2.1 磁场/压力/加速度传感器基本结构 | 第29-30页 |
| 2.2 磁场/压力/加速度传感器工作原理 | 第30-37页 |
| 2.2.1 磁场传感器工作原理 | 第30-33页 |
| 2.2.2 压力传感器工作原理 | 第33-34页 |
| 2.2.3 三轴加速度传感器工作原理 | 第34-37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 磁场/压力/加速度传感器特性仿真 | 第38-53页 |
| 3.1 磁场传感器ATLAS软件仿真 | 第38-41页 |
| 3.1.1 磁场传感器仿真模型构建 | 第38-39页 |
| 3.1.2 磁场传感器磁敏特性仿真 | 第39页 |
| 3.1.3 不同载流子迁移率对磁场传感器灵敏度的影响 | 第39-40页 |
| 3.1.4 不同载流子浓度对磁场传感器灵敏度的影响 | 第40-41页 |
| 3.2 压力传感器ANSYS软件仿真 | 第41-45页 |
| 3.2.1 压力传感器仿真模型构建 | 第41-42页 |
| 3.2.2 压力传感器静态分析 | 第42-45页 |
| 3.3 三轴加速度传感器ANSYS软件仿真 | 第45-52页 |
| 3.3.1 三轴加速度传感器仿真模型构建 | 第45-46页 |
| 3.3.2 三轴加速度传感器静态分析 | 第46-48页 |
| 3.3.3 三轴加速度传感器模态分析 | 第48-50页 |
| 3.3.4 三轴加速度传感器谐响应分析 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 磁场/压力/加速度传感器芯片制作与封装 | 第53-65页 |
| 4.1 磁场/压力/加速度传感器结构设计 | 第53-58页 |
| 4.1.1 磁场传感器结构设计 | 第53-54页 |
| 4.1.2 压力传感器结构设计 | 第54-57页 |
| 4.1.3 三轴加速度传感器结构设计 | 第57-58页 |
| 4.2 磁场/压力/加速度传感器芯片制作 | 第58-62页 |
| 4.2.1 传感器芯片制作工艺流程 | 第58-61页 |
| 4.2.2 传感器芯片版图与芯片照片 | 第61-62页 |
| 4.3 磁场/压力/加速度传感器封装结构 | 第62-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第65-84页 |
| 5.1 磁场传感器特性测试 | 第65-69页 |
| 5.1.1 磁场传感器测试系统 | 第65页 |
| 5.1.2 磁场传感器静态特性 | 第65-68页 |
| 5.1.3 磁场传感器不等位电势 | 第68-69页 |
| 5.2 压力传感器特性测试 | 第69-74页 |
| 5.2.1 压力传感器测试系统 | 第69-70页 |
| 5.2.2 压力传感器静态特性 | 第70-72页 |
| 5.2.3 压力传感器温度特性 | 第72-74页 |
| 5.3 三轴加速度传感器特性测试 | 第74-77页 |
| 5.3.1 三轴加速度传感器测试系统 | 第74页 |
| 5.3.2 三轴加速度传感器振动特性 | 第74-76页 |
| 5.3.3 三轴加速度传感器灵敏度特性 | 第76-77页 |
| 5.4 不同物理量间相互影响问题 | 第77-82页 |
| 5.4.1 外加压力对磁场传感器特性影响 | 第77-79页 |
| 5.4.2 外加磁场和加速度对压力传感器特性影响 | 第79-81页 |
| 5.4.3 外加压力对三轴加速度传感器特性影响 | 第81-82页 |
| 5.5 本章小结 | 第82-84页 |
| 结论 | 第84-85页 |
| 参考文献 | 第85-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第93页 |
| 攻读学位期间承担科研项目 | 第93页 |
| 攻读学位期间参加科研项目 | 第93页 |
