光刻机掩模台运动控制器设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8页 |
| 1.2 光刻机发展现状 | 第8-10页 |
| 1.3 运动控制器的发展概况 | 第10-13页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第13-14页 |
| 第2章 掩模台控制系统方案设计 | 第14-25页 |
| 2.1 引言 | 第14页 |
| 2.2 控制系统整体方案 | 第14-15页 |
| 2.3 控制卡功能接口模块设计 | 第15-16页 |
| 2.4 掩模台运动系统与解耦 | 第16-19页 |
| 2.4.1 宏动台分析 | 第16-17页 |
| 2.4.2 微动台分析 | 第17-19页 |
| 2.5 控制方法设计研究 | 第19-24页 |
| 2.5.1 扰动观测器设计 | 第20-23页 |
| 2.5.2 零相差前馈补偿 PID 控制原理 | 第23-24页 |
| 2.6 本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 用于掩模台的运动控制卡硬件设计及接口测试 | 第25-37页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 控制卡硬件资源分析 | 第25-26页 |
| 3.3 运动控制器 VME 接口设计与实现 | 第26-31页 |
| 3.3.1 VME 接口主模块实现 | 第26页 |
| 3.3.2 控制器 VME 从模块接口设计 | 第26-30页 |
| 3.3.3 运动控制器自定义同步总线设计与实现 | 第30-31页 |
| 3.4 高速串行链路模块 | 第31-32页 |
| 3.5 测量系统 | 第32-35页 |
| 3.5.1 光栅尺测量接口 | 第32-34页 |
| 3.5.2 AD/DA 接口测试实现 | 第34-35页 |
| 3.6 预留接口设计 | 第35-36页 |
| 3.7 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 系统软件设计 | 第37-46页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 功能介绍 | 第37-38页 |
| 4.3 VG5 板卡 | 第38-39页 |
| 4.4 控制卡数据存储 | 第39-43页 |
| 4.5 系统初始化 | 第43-45页 |
| 4.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 实验与分析 | 第46-50页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 掩模台控制系统搭建 | 第46-47页 |
| 5.3 实验测试与结果分析 | 第47-49页 |
| 5.3.1 掩模台定位噪声 | 第47页 |
| 5.3.2 掩模台台阶实验 | 第47-48页 |
| 5.3.3 掩模台正弦运动实验 | 第48页 |
| 5.3.4 激光器反馈控制 | 第48-49页 |
| 5.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 致谢 | 第55页 |
