面向IC封装的气浮定位平台的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-13页 |
| ·驱动方式 | 第9-11页 |
| ·机械机构形式 | 第11-12页 |
| ·导轨支撑形式 | 第12-13页 |
| ·存在的问题及解决方案 | 第13页 |
| ·本文主要的研究内容 | 第13-14页 |
| 2 直线电机驱动的气浮定位平台的总体结构设计 | 第14-30页 |
| ·气浮定位平台设计要求 | 第14-15页 |
| ·气浮定位平台总体方案的设计 | 第15页 |
| ·气浮定位平台机械结构设计 | 第15-17页 |
| ·平台总体结构设计 | 第15-16页 |
| ·气浮驱动结构设计 | 第16-17页 |
| ·基础零部件的计算与选择 | 第17-23页 |
| ·直线电机的计算与选择 | 第17-22页 |
| ·直线导轨的选择 | 第22页 |
| ·光栅尺的选择 | 第22页 |
| ·工程材料的选择 | 第22-23页 |
| ·结构的有限元分析 | 第23-28页 |
| ·结构静力学分析 | 第24-26页 |
| ·结构模态分析 | 第26-28页 |
| ·机构运动分析 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 气浮平台及气浮驱动机构的数学模型 | 第30-42页 |
| ·数值计算方法 | 第30-31页 |
| ·气浮平台及气浮驱动机构的润滑控制方程 | 第31-37页 |
| ·气体润滑的基本假设 | 第31-32页 |
| ·雷诺(Reynolds)方程推导 | 第32-34页 |
| ·控制方程推导 | 第34-35页 |
| ·边界条件 | 第35页 |
| ·流量计算 | 第35-36页 |
| ·承载力计算 | 第36-37页 |
| ·气体润滑控制方程求解 | 第37-38页 |
| ·控制方程求解步骤 | 第38-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 4 气浮平台及气浮驱动机构的性能仿真研究 | 第42-51页 |
| ·计算实例一 | 第42-44页 |
| ·计算模型和压力分布 | 第42-43页 |
| ·计算结果及分析 | 第43-44页 |
| ·计算实例二 | 第44-46页 |
| ·计算模型和压力分布 | 第44-46页 |
| ·计算结果及分析 | 第46页 |
| ·计算实例三 | 第46-48页 |
| ·计算模型和压力分布 | 第46-47页 |
| ·计算结果及分析 | 第47-48页 |
| ·有限差分法误差分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 气浮定位平台的实验研究 | 第51-61页 |
| ·气浮定位测试平台加工方案 | 第51-55页 |
| ·研抛设备的加工原理 | 第51页 |
| ·研抛设备的加载 | 第51-52页 |
| ·研磨的加工工艺路线 | 第52-54页 |
| ·气浮定位测试平台搭建 | 第54-55页 |
| ·气浮定位平台承载力实验研究 | 第55-60页 |
| ·实验方案 | 第55-57页 |
| ·实验步骤 | 第57页 |
| ·实验结果与结果分析 | 第57-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 6 结论 | 第61-62页 |
| ·结论 | 第61页 |
| ·工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-69页 |
| 附录 | 第69-70页 |
