晶圆级热电堆探测器批量化测试系统的研制
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第12-14页 |
| ·国内外发展现状 | 第14-18页 |
| ·热电堆红外探测器发展现状 | 第14-17页 |
| ·热电堆红外测试技术发展现状 | 第17-18页 |
| ·本文主要内容 | 第18-19页 |
| ·论文结构安排 | 第19-20页 |
| 第2章 MEMS 热电堆探测器的测试原理及方法 | 第20-31页 |
| ·MEMS 热电堆探测器的工作原理 | 第20-21页 |
| ·MEMS 热电堆探测器的功能测试 | 第21-25页 |
| ·静态特性测试 | 第21-22页 |
| ·动态特性测试 | 第22-25页 |
| ·MEMS 热电堆探测器批量化性能测试 | 第25-26页 |
| ·系统测试流程 | 第26-29页 |
| ·器件定位 | 第27-28页 |
| ·温度设置 | 第28页 |
| ·电学信号采集 | 第28-29页 |
| ·数据分析与处理 | 第29页 |
| ·测试系统设计要求 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 关键技术研究 | 第31-51页 |
| ·器件定位及对准 | 第31-37页 |
| ·器件模型的建立 | 第31-32页 |
| ·现有晶圆预对准方案的比较 | 第32-34页 |
| ·晶圆预对准方案的设计 | 第34-37页 |
| ·环境温度及激励温度的控制 | 第37-43页 |
| ·环境温度控制方案设计 | 第37-39页 |
| ·激励温度控制方案设计 | 第39-43页 |
| ·信号采集方案设计 | 第43-50页 |
| ·噪声分析 | 第43-46页 |
| ·信号放大电路的设计 | 第46-49页 |
| ·器件有效信号的提取 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 测试系统的搭建 | 第51-64页 |
| ·模块化设计方案 | 第51-52页 |
| ·核心控制器的选取 | 第52-54页 |
| ·硬件结构的搭建 | 第54-58页 |
| ·高精度运动平台的设计 | 第54-56页 |
| ·各功能模块的控制需求 | 第56-57页 |
| ·测试系统的三维模拟装配 | 第57-58页 |
| ·下位机软件的编写 | 第58-61页 |
| ·下位机的控制变量 | 第58-59页 |
| ·运动程序的编写 | 第59-60页 |
| ·PLC 程序的编写 | 第60-61页 |
| ·上位机软件的编写 | 第61-63页 |
| ·下位机通讯库函数—Pcomm32 | 第61-62页 |
| ·人机交互界面的设计 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 系统的安装及功能验证 | 第64-72页 |
| ·器件定位测试 | 第64-65页 |
| ·激励/环境温度的选取 | 第65-67页 |
| ·激励温度对器件输出的影响 | 第65-66页 |
| ·环境温度对器件输出的影响 | 第66-67页 |
| ·斩波频率的选取 | 第67-69页 |
| ·系统测试功能验证 | 第69-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论与展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间取得的研究成果及发表的学术论文 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
