MEMS微麦克风读出电路设计与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-12页 |
| ·研究背景及课题提出的意义 | 第7-8页 |
| ·MEMS 微麦克风的种类 | 第8-10页 |
| ·压电式硅微麦克风 | 第8-9页 |
| ·压阻式硅微麦克风 | 第9页 |
| ·电容式硅微麦克风 | 第9-10页 |
| ·电容式硅微麦克风读出电路的工作原理 | 第10-11页 |
| ·课题的研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 MEMS 微麦克风读出电路的系统结构 | 第12-16页 |
| ·读出电路的输入输出端口 | 第12-13页 |
| ·微麦克风偏置电压电路 | 第13-14页 |
| ·时钟电路 | 第13页 |
| ·带隙基准电压电路 | 第13页 |
| ·偏置电流源 | 第13-14页 |
| ·电荷泵 | 第14页 |
| ·电荷泵滤波器 | 第14页 |
| ·微麦克风前置放大器电路 | 第14-16页 |
| ·稳定电荷电路 | 第14-15页 |
| ·前置放大器及其反馈环路 | 第15页 |
| ·前置放大器滤波器 | 第15-16页 |
| 第三章 微麦克风偏置电压电路设计 | 第16-41页 |
| ·时钟产生电路 | 第16-18页 |
| ·带隙基准电压电路 | 第18-30页 |
| ·传统带隙基准电压电路的原理 | 第19-20页 |
| ·现有降低温度系数的方法 | 第20-25页 |
| ·低温度系数带隙基准电压电路的实现方法 | 第25-28页 |
| ·带隙基准电压电路失调电压的消除 | 第28-30页 |
| ·电荷泵缓冲器结构 | 第30-32页 |
| ·电荷泵主体 | 第32-41页 |
| ·几种常见的电荷泵结构 | 第32-37页 |
| ·前八级电荷泵结构 | 第37-38页 |
| ·输出级电荷泵结构 | 第38-41页 |
| 第四章 微麦克风前置放大器电路设计 | 第41-54页 |
| ·稳定电荷电路 | 第41-42页 |
| ·前置放大器及其反馈环路 | 第42-54页 |
| ·与电源电压无关的基准电流源 | 第44-46页 |
| ·前置放大器的输出阻抗分析 | 第46-49页 |
| ·前置放大器的噪声特性分析 | 第49-54页 |
| 第五章 版图设计及仿真结果 | 第54-66页 |
| ·版图布局 | 第54-59页 |
| ·版图整体布局 | 第54-56页 |
| ·版图设计的匹配 | 第56-57页 |
| ·版图的检查 | 第57-58页 |
| ·电路结构的多版本设计 | 第58-59页 |
| ·微麦克风偏置电压电路部分的仿真结果 | 第59-63页 |
| ·时钟电路的仿真结果 | 第60页 |
| ·带隙基准电压电路的仿真结果 | 第60-62页 |
| ·整个偏置电压电路的仿真结果 | 第62-63页 |
| ·前置放大器部分的仿真结果 | 第63-66页 |
| ·稳定电荷电路的仿真结果 | 第63-64页 |
| ·前置放大器电路的仿真结果 | 第64-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
