| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-14页 |
| ·MEMS 电容加速度传感器 | 第9-10页 |
| ·微弱电容检测技术 | 第10页 |
| ·国内外发展状况 | 第10-11页 |
| ·开环加速度计与闭环加速度计 | 第11-12页 |
| ·研究意义 | 第12页 |
| ·本论文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 MEMS 加速度传感器读出电路结构与工作原理 | 第14-18页 |
| ·MEMS 加速度传感器读出电路系统结构 | 第14-16页 |
| ·工作原理 | 第16-17页 |
| ·MEMS 加速度传感器简介 | 第16页 |
| ·工作原理简介 | 第16-17页 |
| ·MEMS 加速度传感器读出电路设计要求 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第三章 MEMS 加速度传感器读出电路时序设计 | 第18-25页 |
| ·启动模式 | 第18-21页 |
| ·运行模式 | 第21-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第四章 MEMS 加速度传感器读出电路设计 | 第25-62页 |
| ·参考电源设计 | 第25-32页 |
| ·参考源理论分析 | 第25-27页 |
| ·低噪声的基准电压源电路 | 第27-29页 |
| ·基准电压源电路设计 | 第29-30页 |
| ·基准电压源电路仿真 | 第30-32页 |
| ·MEMS 电容补偿阵列 | 第32-34页 |
| ·读出放大器设计 | 第34-58页 |
| ·读出放大器指标要求 | 第34页 |
| ·放大器常用结构 | 第34-36页 |
| ·Decompensated 放大器 | 第36-38页 |
| ·失调消除技术 | 第38-42页 |
| ·读出放大器设计 | 第42-47页 |
| ·读出放大器仿真 | 第47-52页 |
| ·读出放大电路设计 | 第52-57页 |
| ·读出放大电路仿真 | 第57-58页 |
| ·多相时钟同步电路 | 第58-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 MEMS 加速度传感器读出电路流片与测试 | 第62-68页 |
| ·版图设计 | 第62-63页 |
| ·读出放大电路概貌图 | 第63-64页 |
| ·基准电压测试 | 第64-66页 |
| ·MEMS 加速度传感器读出电路测试 | 第66-68页 |
| 第六章 总结与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 个人简历 | 第73-74页 |
| 在校期间发表的学术论文及研究成果 | 第74页 |