| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| 2 选择液相外延系统原理 | 第13-20页 |
| ·液相外延简介 | 第13-14页 |
| ·液相外延生长原理及生长液的配置 | 第14-20页 |
| ·液相外延生长原理 | 第14-17页 |
| ·生长源的配置 | 第17-20页 |
| 3 薄膜制备工艺及微探尖的生长工艺流程 | 第20-28页 |
| ·SiO_2薄膜的制备 | 第20-21页 |
| ·光刻及腐蚀 | 第21-24页 |
| ·选择LPE法生长微探尖阵列 | 第24-28页 |
| 4 可剥离的GaAs微探尖生长技术研究 | 第28-34页 |
| ·研究内容与方法 | 第28-29页 |
| ·实验过程、结果分析及表征 | 第29-34页 |
| 5 生长液旋转倾倒脱片方法生长GaAs微探尖的研究与结论 | 第34-43页 |
| ·石墨舟的介绍及实验背景 | 第34-36页 |
| ·生长液旋转倾倒脱片方法生长GaAs微探尖实验结果及表征 | 第36-39页 |
| ·GaAs微探尖生长形态的三维模拟 | 第39-43页 |
| 结论 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-47页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |