MEMS音叉陀螺结构振动非线性及抑制技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-25页 |
| 1.1 概述 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外MEMS陀螺发展现状 | 第8-16页 |
| 1.2.1 国外MEMS陀螺发展现状 | 第8-13页 |
| 1.2.2 国内MEMS陀螺发展现状 | 第13-16页 |
| 1.3 MEMS陀螺结构振动非线性国内外研究现状 | 第16-20页 |
| 1.4 论文的研究目的和意义 | 第20-22页 |
| 1.5 论文内容与编排 | 第22-25页 |
| 2 MEMS音叉陀螺工作原理与振动模型 | 第25-31页 |
| 2.1 MEMS音叉陀螺的敏感结构 | 第25-26页 |
| 2.2 MEMS音叉陀螺仪敏感结构的振动模型 | 第26-30页 |
| 2.3 小结 | 第30-31页 |
| 3 MEMS音叉陀螺驱动轴振动非线性特性研究 | 第31-47页 |
| 3.1 梁结构非线性刚度理论 | 第31-35页 |
| 3.1.1 梁非线性刚度理论推导 | 第31-33页 |
| 3.1.2 梁非线性刚度的计算 | 第33-35页 |
| 3.2 陀螺结构非线性刚度有限元仿真 | 第35-37页 |
| 3.3 驱动梳齿非线性刚度理论与计算 | 第37-40页 |
| 3.4 MEMS音叉螺驱动轴开环幅频特性试验研究 | 第40-43页 |
| 3.4.1 小激励下的开环幅频特性 | 第40-41页 |
| 3.4.2 大激励下的开环幅频特性 | 第41-43页 |
| 3.5 MEMS音叉陀螺驱动轴振动非线性 | 第43-44页 |
| 3.6 MEMS音叉陀螺驱动振幅临界值 | 第44-45页 |
| 3.7 小结 | 第45-47页 |
| 4 MEMS音叉陀螺结构设计与实现 | 第47-67页 |
| 4.1 结构梁的方案选择 | 第47-50页 |
| 4.2 陀螺敏感结构设计与仿真 | 第50-62页 |
| 4.2.1 陀螺敏感结构的结构梁设计 | 第51-53页 |
| 4.2.2 陀螺敏感结构的模态分析 | 第53-55页 |
| 4.2.3 陀螺敏感结构的非线性刚度仿真 | 第55-57页 |
| 4.2.4 陀螺敏感结构的耦合性能分析 | 第57-58页 |
| 4.2.5 陀螺敏感结构的模态误差补偿 | 第58-59页 |
| 4.2.6 陀螺敏感结构的温度场仿真 | 第59-61页 |
| 4.2.7 陀螺敏感结构抗过载特性 | 第61-62页 |
| 4.3 MEMS音叉陀螺实现 | 第62-66页 |
| 4.3.1 MEMS音叉陀螺结构版图设计 | 第62-63页 |
| 4.3.2 MEMS音叉陀螺部分工艺性设计 | 第63-64页 |
| 4.3.3 MEMS音叉陀螺的封装 | 第64-65页 |
| 4.3.4 电路总体方案概述 | 第65-66页 |
| 4.4 小结 | 第66-67页 |
| 5 试验及其结果分析 | 第67-71页 |
| 5.1 小激励下的开环测试数据处理 | 第67-68页 |
| 5.2 大激励下的开环数据处理 | 第68-69页 |
| 5.3 小结 | 第69-71页 |
| 6 结论 | 第71-74页 |
| 6.1 课题期间的主要工作 | 第71页 |
| 6.2 论文的主要结论 | 第71-72页 |
| 6.3 论文主要的创新工作 | 第72页 |
| 6.4 后续工作的进一步设想 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
