| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·先进光学研抛技术国内外现状 | 第10-13页 |
| ·本文的主要工作及意义 | 第13-15页 |
| ·本章小结 | 第15-17页 |
| 2 光学研抛加工系统技术方案 | 第17-25页 |
| ·抛光基本理论基础 | 第17页 |
| ·光学研抛加工系统功能需求分析 | 第17-18页 |
| ·光学研抛加工系统总体设计方案 | 第18-20页 |
| ·机械臂本体结构及控制系统 | 第20-21页 |
| ·机械臂本体结构 | 第20-21页 |
| ·机械臂控制系统 | 第21页 |
| ·磨头机械本体及控制系统 | 第21-24页 |
| ·磨头机械本体 | 第21-24页 |
| ·磨头控制系统 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 磨头旋转机构伺服控制系统 | 第25-45页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·交流永磁同步电机伺服系统 | 第25-29页 |
| ·交流永磁同步电机构成原理 | 第25-26页 |
| ·交流永磁同步电机数学模型 | 第26-28页 |
| ·交流电机矢量控制 | 第28-29页 |
| ·磨头双轴转速控制系统 | 第29-44页 |
| ·伺服机械系统 | 第29-30页 |
| ·行星式旋转机构特性 | 第30-33页 |
| ·磨头双转子转速控制器设计 | 第33-41页 |
| ·电机选型 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 4 磨头气动压力控制系统 | 第45-61页 |
| ·引言 | 第45-46页 |
| ·气动压力控制系统总体设计 | 第46-48页 |
| ·气动压力控制系统特性分析 | 第48-52页 |
| ·减压阀工作原理 | 第48-49页 |
| ·比例减压阀工作特性分析 | 第49-50页 |
| ·带容腔负载减压阀的响应 | 第50-51页 |
| ·气动接口及定义 | 第51-52页 |
| ·气动压力控制系统设计 | 第52-58页 |
| ·气动压力系统模型辨识 | 第52-54页 |
| ·卡尔曼滤波器数据滤波 | 第54-55页 |
| ·气动压力控制器设计 | 第55-57页 |
| ·试验数据及分析 | 第57-58页 |
| ·本章总结 | 第58-61页 |
| 5 磨头控制柜及软件设计 | 第61-77页 |
| ·控制柜整体设计 | 第61-65页 |
| ·安全电路设计 | 第65-66页 |
| ·磨头通讯协议及接口设计 | 第66-71页 |
| ·磨头通讯协议介绍 | 第66-67页 |
| ·TRIO205 MODBUS RTU 协议通讯功能 | 第67-68页 |
| ·通讯物理实现 | 第68-69页 |
| ·软件接口设计 | 第69-70页 |
| ·通讯指令数据结构示例 | 第70-71页 |
| ·控制器连接及程序设计 | 第71-76页 |
| ·运动控制器 EURO205 | 第71-73页 |
| ·控制器接口连接及定义 | 第73页 |
| ·控制器程序设计 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 6 磨头测控平台搭建及试验数据 | 第77-87页 |
| ·磨头测控平台实物搭建 | 第77-78页 |
| ·上位机测控程序设计 | 第78-83页 |
| ·试验数据分析 | 第83-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 7 全文总结及展望 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-95页 |
| 附录 | 第95页 |
| A．作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第95页 |
| B．作者在攻读学位期间取得的科研成果目录 | 第95页 |