| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-14页 |
| 第一章 铁电薄膜及其疲劳、记忆效应研究进展 | 第14-51页 |
| ·引言 | 第14-16页 |
| ·铁电薄膜电子器件 | 第16-19页 |
| ·铁电电容器 | 第16-17页 |
| ·非挥发性铁电存贮器 | 第17-18页 |
| ·铁电场效应管 | 第18-19页 |
| ·制备铁电薄膜器件的铁电材料 | 第19-22页 |
| ·钙钛矿结构和层状结构铁电材料 | 第19-20页 |
| ·掺杂效应 | 第20-21页 |
| ·晶粒尺寸 | 第21-22页 |
| ·铁电薄膜中的畴 | 第22-25页 |
| ·畴的定义 | 第22页 |
| ·铁电薄膜中的畴结构 | 第22-25页 |
| ·铁电薄膜的极化 | 第25-28页 |
| ·可逆和不可逆极化 | 第25-27页 |
| ·铁电极化翻转 | 第27-28页 |
| ·铁电薄膜中的极化疲劳 | 第28-36页 |
| ·极化退化 | 第28-29页 |
| ·极化疲劳机制 | 第29-30页 |
| ·极化疲劳的各种模型 | 第30-32页 |
| ·氧空位和电荷注入 | 第32-36页 |
| ·铁电电容器中的记忆效应 | 第36-43页 |
| ·缺陷偶极子排列 | 第36-37页 |
| ·界面屏蔽模型 | 第37-39页 |
| ·内建电场 | 第39-41页 |
| ·界面应变 | 第41-42页 |
| ·界面电导 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 参考文献 | 第44-51页 |
| 第二章 La_(0.07)Sr_(0.93)SnO_3为电极制备外延透明Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜电容器 | 第51-61页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·靶材和LSSO/PZT/LSSO结构的电容器制备和试验测量 | 第52-53页 |
| ·LSSO和PZT靶材制备 | 第52页 |
| ·LSSO(top)/PZT/LSSO外延铁电薄膜电容器的制备及试验测量 | 第52-53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-58页 |
| ·LSSO/PZT/LSSO外延异质结的结构表征 | 第53-56页 |
| ·LSSO/PZT/LSSO外延异质结的光学透过率表 | 第56-57页 |
| ·Pt/LSSO/PZT/LSSO电容器的铁电性能表征 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 第三章 P/N型载流子类型的氧化物电极对PZT薄膜极化翻转和疲劳行为的影响 | 第61-73页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·靶材和各种电极构型的PZT电容器制备和实验测量 | 第62-63页 |
| ·LSMO,SSTO和NCCO靶材的制备 | 第62页 |
| ·p/n电极构型的PZT电容器的制备和实验测量 | 第62-63页 |
| ·结果与讨论 | 第63-71页 |
| ·p型LSMO和n型LSSO为电极的PZT电容器结构表征 | 第63-65页 |
| ·p/n型导电氧化物为电极的PZT电容器的极化翻转及疲劳行为 | 第65-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-73页 |
| 第四章 外延Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48)O_3铁电薄膜的介电表征 | 第73-86页 |
| ·引言 | 第73-75页 |
| ·Pt/PZT/LSMO电容器的制备和C-V测量 | 第75页 |
| ·实验结果与讨论 | 第75-83页 |
| ·薄膜厚度表征 | 第75-76页 |
| ·Pt/PZT/LSMO电容器P-E电滞回线和C-V曲线 | 第76-81页 |
| ·p/n型电极的PZT电容器疲劳行为与C-V曲线 | 第81-83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-86页 |
| 第五章 外延La0.7Sr0.3MnO3/PZT/SrRuO3铁电电容器对工艺过程的引入的记忆效应的高抵抗性 | 第86-96页 |
| ·引言 | 第86-87页 |
| ·全氧化物外延PZT铁电薄膜电容器的制备和实验测量 | 第87-88页 |
| ·结果与讨论 | 第88-93页 |
| ·PZT电容器的铁电性能表征 | 第88-89页 |
| ·PZT电容器的结构表征 | 第89-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-96页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
