关于再利用硅切削液的研究
| 目录 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 前言 | 第6-19页 |
| 1. 课题背景 | 第6-8页 |
| ·原料来源 | 第6-7页 |
| ·本论文的研究目的与内容 | 第7-8页 |
| 2. 回收利用晶硅废料的前景 | 第8-17页 |
| ·用于制备太阳能用多晶硅的前景 | 第8-13页 |
| ·用于制备纳米碳化硅的前景 | 第13-17页 |
| 3. 切割工艺 | 第17页 |
| 4. 研究进展 | 第17-19页 |
| 第二章 原料去杂质可行性分析 | 第19-36页 |
| 1. 原料中的杂质清洗方法分析 | 第19-23页 |
| ·可能存在的杂质 | 第19-20页 |
| ·常用清洗液 | 第20-21页 |
| ·实验原料的来源及成分分析 | 第21-23页 |
| 2. 实验清洗液选择 | 第23-24页 |
| ·原料的初级清洗 | 第23页 |
| ·使用SC-1清洗液处理 | 第23页 |
| ·使用SC-2清洗液处理 | 第23-24页 |
| ·使用DHF清洗液处理 | 第24页 |
| ·使用浮选液处理 | 第24页 |
| ·清洗效果 | 第24页 |
| 3. 改进清洗实验 | 第24-32页 |
| ·清洗方案(一) | 第24-26页 |
| ·清洗方案(二) | 第26-27页 |
| ·清洗方案(三) | 第27-28页 |
| ·样品的SEM照片 | 第28-30页 |
| ·最终清洗方案 | 第30-32页 |
| 4. 清洗结果 | 第32-35页 |
| ·XRF测试结果 | 第32-33页 |
| ·清洗效果的扫描电镜分析 | 第33-35页 |
| 5. 清洗过程总结 | 第35-36页 |
| 第三章 太阳能电池用多晶硅制备研究 | 第36-50页 |
| 1. 实验可行性分析 | 第36-39页 |
| ·一氧化硅法制备太阳能级多晶硅 | 第36-37页 |
| ·冶金硅法制备太阳能级多晶硅 | 第37-38页 |
| ·硅废料回收方法 | 第38-39页 |
| 2. 样品熔炼 | 第39-48页 |
| ·熔炼设备 | 第39页 |
| ·电炉调试 | 第39-40页 |
| ·熔炼实验(一) | 第40-43页 |
| ·熔炼效果与坩埚关系 | 第43-46页 |
| ·熔炼实验(二) | 第46-48页 |
| 3. 废液处理 | 第48-50页 |
| ·NH_4OH与HCl处理方法 | 第48页 |
| ·HF处理方法 | 第48-50页 |
| 第四章 碳化硅的制备研究 | 第50-60页 |
| 1. 硅切削废料回收制备碳化硅实验 | 第50-53页 |
| ·SEM分析 | 第50-52页 |
| ·XRD结果分析 | 第52页 |
| ·TEM结果分析 | 第52-53页 |
| 2. SiC生成机理 | 第53-58页 |
| ·气液固(VLS)机理 | 第53-54页 |
| ·气固(VS)机理 | 第54-55页 |
| ·本实验的机理 | 第55-56页 |
| ·SiC高温氧化 | 第56-57页 |
| ·SiC晶须表面氧化层 | 第57-58页 |
| 3. SiC晶须的应用 | 第58-59页 |
| 4. 纳米硅材料的发现 | 第59-60页 |
| 第五章 总结 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-63页 |
| 作者在攻读硕士学位期间发表或待发表的期刊论文 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
