深亚微米级IC晶片缺陷检测的机器视觉系统

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-8页
目录	第8-10页
CONTENTS	第10-12页
第一章 绪论	第12-24页
·IC制造与检测技术	第12-15页
·课题来源及研究意义	第15-20页
·课题来源	第15页
·研究意义	第15-20页
·课题的研究基础	第20页
·机器视觉在IC晶片缺陷检测中的应用	第20-22页
·本论文的研究内容	第22-24页
第二章 深亚微米IC晶片机器视觉检测基础	第24-35页
·缺陷检测的机器视觉系统介绍	第24-27页
·系统硬件组成	第24-25页
·系统的软件组成	第25-27页
·存储器	第27-33页
·存储器的分类与DRAM的结构	第27-30页
·存储器制造技术	第30-33页
·自动光学检测技术	第33-35页
·AOI技术的基本原理	第33-34页
·基于AOI技术的IC晶片缺陷检测	第34-35页
第三章 图像畸变校正技术	第35-46页
·非线性图像畸变的数学模型	第37-39页
·图像畸变的校正	第39-42页
·空间位置的校正	第40-41页
·灰度校正	第41-42页
·实验研究与分析	第42-46页
第四章 旋转不变子空间技术	第46-52页
·ESPRIT算法的阵列几何结构与数据模型	第46-48页
·信号子空间的旋转不变性原理	第48-49页
·标准的旋转不变子空间算法	第49-50页
·ESPRIT算法的MATLAB仿真	第50-52页
第五章 IC中重复图案阵列的检测技术	第52-63页
·基于机器视觉的缺陷检测策略	第52-55页
·缺陷检测实例	第55-63页
结论	第63-65页
参考文献	第65-70页
攻读学位期间发表的论文及科研获奖	第70-72页
致谢	第72页