| 摘要 | 第6-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-28页 |
| 1.1 纳米科技概述 | 第11-12页 |
| 1.2 纳米加工技术 | 第12-22页 |
| 1.2.1 光刻技术 | 第12-17页 |
| 1.2.2 聚焦离子束刻蚀 | 第17-18页 |
| 1.2.3 扫描探针技术 | 第18-20页 |
| 1.2.4 摩擦诱导纳米加工 | 第20-22页 |
| 1.3 多针尖微纳加工技术 | 第22-25页 |
| 1.3.1 多针尖微纳加工技术现状 | 第22-24页 |
| 1.3.2 基于多点接触的微纳加工设备组成 | 第24-25页 |
| 1.4 本文的研究意义及内容 | 第25-28页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第25-26页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 实验材料及设备 | 第28-34页 |
| 2.1 实验材料 | 第28-30页 |
| 2.2 实验设备 | 第30-34页 |
| 2.2.1 多点接触微纳加工设备 | 第30-31页 |
| 2.2.2 三维形貌轮廓仪 | 第31页 |
| 2.2.3 其它设备 | 第31-34页 |
| 第3章 基于柔性衬底的多针尖阵列的制备 | 第34-38页 |
| 3.1 多针尖阵列制备原理 | 第34-35页 |
| 3.2 多针尖阵列制备工艺 | 第35-37页 |
| 3.2.1 柔性针尖板的制备 | 第35页 |
| 3.2.2 针尖阵列的准确定位及压平 | 第35-36页 |
| 3.2.3 针尖阵列的脱模 | 第36-37页 |
| 3.3 多针尖阵列的制备实例 | 第37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 多针尖阵列有限元模型分析 | 第38-48页 |
| 4.1 橡胶材料本构模型基本理论 | 第38-40页 |
| 4.1.1 Mooney-Rivlin模型和Neo-Hooken模型 | 第39-40页 |
| 4.1.2 Yeoh模型 | 第40页 |
| 4.2 橡胶材料本构模型的选择 | 第40-41页 |
| 4.3 基于柔性衬底多针尖阵列的有限元模型 | 第41-44页 |
| 4.3.1 ABAQUS模型的建立 | 第41-42页 |
| 4.3.2 材料定义 | 第42页 |
| 4.3.3 边界条件的定义及加载 | 第42-43页 |
| 4.3.4 有限元分析过程 | 第43-44页 |
| 4.4 多针尖阵列ABAQUS有限元分析结果讨论 | 第44-46页 |
| 4.5 本章小结 | 第46-48页 |
| 第5章 基于柔性衬底的多针尖阵列加工实例 | 第48-55页 |
| 5.1 柔性衬底材料表面形貌扫描 | 第48页 |
| 5.2 多针尖阵列微球粘合强度的测试 | 第48-50页 |
| 5.3 不同柔性衬底多针尖阵列的加工实例分析 | 第50-53页 |
| 5.4 基于柔性衬底的多针尖阵列加工图案 | 第53-54页 |
| 5.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论与展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第63页 |