| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-22页 |
| 1.1 课题来源 | 第12页 |
| 1.2 研究背景和意义 | 第12-14页 |
| 1.3 高精度硅差压传感器结构特点及工作原理 | 第14-15页 |
| 1.4 硅压力/差压传感器国内外发展现状 | 第15-20页 |
| 1.4.1 压力/差压传感器的性能指标 | 第15-17页 |
| 1.4.2 压力/差压传感器发展现状 | 第17-18页 |
| 1.4.3 压力/差压传感器温度补偿国内外发展现状 | 第18-19页 |
| 1.4.4 差压传感器膜片研究国内外发展现状 | 第19-20页 |
| 1.5 论文的主要研究内容及结构 | 第20-21页 |
| 1.6 本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 高精度硅差压传感器温变误差分析及三膜盒热膨胀效应分析 | 第22-33页 |
| 2.1 半导体材料的压阻效应 | 第22-23页 |
| 2.2 硅差压传感器敏感芯片结构及其工作原理 | 第23-26页 |
| 2.3 硅差压传感器温度漂移误差分析 | 第26-27页 |
| 2.4 传统温度补偿方法 | 第27-30页 |
| 2.4.1 硬件补偿 | 第27-28页 |
| 2.4.2 插值补偿&查表法 | 第28-30页 |
| 2.5 差压传感器三膜片膜盒结构及其工作原理 | 第30页 |
| 2.6 三膜盒结构的热膨胀效应 | 第30-32页 |
| 2.7 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于神经网络的差压传感器温度补偿算法研究 | 第33-57页 |
| 3.1 神经网络概述和神经元模型 | 第33-34页 |
| 3.2 BP神经网络和RBF神经网络模型 | 第34-36页 |
| 3.2.1 BP神经网络 | 第34-50页 |
| 3.2.2 RBF神经网络 | 第50-35页 |
| 3.2.3 BP和RBF神经网络模型对比研究 | 第35-36页 |
| 3.3 RBF神经网络参数的确定 | 第36-51页 |
| 3.3.1 RBF神经网络隐藏层节点个数的确定 | 第37-38页 |
| 3.3.2 RBF神经网络基函数中心值的确定 | 第38-43页 |
| 3.3.3 RBF神经网络扩展值的确定 | 第43-48页 |
| 3.3.4 RBF神经网络权值的确定 | 第48-51页 |
| 3.4 差压传感器温度补偿算法 | 第51-55页 |
| 3.4.1 基本算法流程和框架图 | 第52-53页 |
| 3.4.2 算法设计及举例 | 第53-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 差压传感器变温标定实验及温度补偿结果分析 | 第57-80页 |
| 4.1 差压传感器变温标定实验设计及实验平台搭建 | 第57-62页 |
| 4.1.1 变温标定实验方案 | 第57-58页 |
| 4.1.2 实验设备及器材 | 第58页 |
| 4.1.3 实验平台搭建 | 第58-59页 |
| 4.1.4 标定实验数据采集 | 第59-61页 |
| 4.1.5 实验数据分析 | 第61-62页 |
| 4.2 实验数据预处理 | 第62-64页 |
| 4.2.1 实验数据归一化 | 第62-63页 |
| 4.2.2 训练数据和测试数据划分 | 第63页 |
| 4.2.3 误差评价标准-引用误差 | 第63-64页 |
| 4.3 差压传感器温度补偿算法网络参数计算 | 第64-73页 |
| 4.3.1 隐藏层节点个数确定 | 第64-66页 |
| 4.3.2 隐藏层中心值聚类 | 第66-68页 |
| 4.3.3 扩展值寻优 | 第68-73页 |
| 4.3.4 权值计算 | 第73页 |
| 4.4 差压传感器温度补偿网络建立及补偿结果分析 | 第73-77页 |
| 4.5 差压传感器温度补偿方法优化 | 第77-78页 |
| 4.6 本章小结 | 第78-80页 |
| 第五章 差压传感器过载保护中心波纹膜片设计研究 | 第80-87页 |
| 5.1 波纹膜片变形理论研究 | 第80-81页 |
| 5.2 等效温度法与波纹膜片变形仿真 | 第81-82页 |
| 5.3 波纹膜片变形实验设计 | 第82-84页 |
| 5.4 变形理论值与实际值对比 | 第84-85页 |
| 5.5 过载能力实验 | 第85-86页 |
| 5.6 本章小结 | 第86-87页 |
| 总结与展望 | 第87-90页 |
| 总结 | 第87-88页 |
| 创新点 | 第88页 |
| 未来展望 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-96页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 附件 | 第98页 |