版图灵敏度新模型及提取算法研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 引言 | 第15-16页 |
| 1.2 缺陷对集成电路的影响 | 第16-18页 |
| 1.3 研究意义与现状 | 第18-20页 |
| 1.4 本文主要工作及内容安排 | 第20-23页 |
| 第二章 版图研究的理论基础 | 第23-45页 |
| 2.1 局部缺陷类型 | 第23-27页 |
| 2.1.1 冗余物缺陷 | 第23-24页 |
| 2.1.2 丢失物缺陷 | 第24-25页 |
| 2.1.3 氧化物针孔缺陷和结泄漏缺陷 | 第25-27页 |
| 2.2 数学形态学 | 第27-34页 |
| 2.2.1 二值膨胀 | 第28-29页 |
| 2.2.2 二值腐蚀 | 第29-30页 |
| 2.2.3 二值开运算和闭运算 | 第30-32页 |
| 2.2.4 击中击不中变换 | 第32-34页 |
| 2.3 版图图像的转化 | 第34-37页 |
| 2.4 关键面积的计算 | 第37-44页 |
| 2.4.1 短路关键面积的提取 | 第39-41页 |
| 2.4.2 开路关键面积的提取 | 第41-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第三章 基于可视矩阵的灵敏度提取算法 | 第45-59页 |
| 3.1 现有的灵敏度模型 | 第45-50页 |
| 3.1.1 现有的短路灵敏度模型 | 第45-48页 |
| 3.1.2 现有的开路灵敏度模型 | 第48-49页 |
| 3.1.3 现有的综合灵敏度模型 | 第49-50页 |
| 3.2 基于可视矩阵的灵敏度提取算法 | 第50-53页 |
| 3.2.1 可视矩阵 | 第50-51页 |
| 3.2.2 VMS算法 | 第51-53页 |
| 3.3 VMS算法应用及分析 | 第53-58页 |
| 3.3.1 VMS算法的应用 | 第53-57页 |
| 3.3.2 VMS算法的分析 | 第57-58页 |
| 3.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 带权灵敏度模型及WSOE网 | 第59-77页 |
| 4.1 成品率计算模型 | 第59-64页 |
| 4.1.1 功能成品率模型 | 第59-61页 |
| 4.1.2 冗余成品率类型 | 第61-64页 |
| 4.2 带权灵敏度模型 | 第64-69页 |
| 4.2.1 WS的提出 | 第64-66页 |
| 4.2.2 WS的提取算法及应用 | 第66-67页 |
| 4.2.3 WS的物理结构 | 第67-69页 |
| 4.3 基于WSOE网的版图优化算法 | 第69-73页 |
| 4.4 WSOE网的应用 | 第73-76页 |
| 4.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第五章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简介 | 第85-87页 |
