高灵敏度光纤压力传感器的研究
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第1章 绪论 | 第10-18页 |
1.1 光纤传感器概述 | 第10-15页 |
1.1.1 光纤传感器的分类 | 第10-11页 |
1.1.2 光纤EFPI膜片式压力传感器研究现状 | 第11-15页 |
1.2 光纤传感器应用的领域 | 第15页 |
1.3 课题研究背景及意义 | 第15-16页 |
1.4 本文的主要内容和章节安排 | 第16-18页 |
第2章 基于F-P干涉理论的压力传感器的工作原理 | 第18-24页 |
2.1 引言 | 第18页 |
2.2 F-P传感器分类 | 第18-19页 |
2.3 膜片式光纤EFPI传感器的基本原理 | 第19-23页 |
2.3.1 膜片式光纤EFPI传感器的基本结构 | 第19-20页 |
2.3.2 F-P干涉仪的基本原理 | 第20-23页 |
2.4 本章小结 | 第23-24页 |
第3章 膜片的形变原理及振动信号传感的数学模型 | 第24-34页 |
3.1 引言 | 第24页 |
3.2 膜片的形变原理 | 第24-27页 |
3.3 膜片的频响特性 | 第27-29页 |
3.4 干涉式压力传感信号的数学模型 | 第29-33页 |
3.4.1 干涉式压力信号传感结构 | 第30页 |
3.4.2 干涉仪式声音振动信号传感机理 | 第30-33页 |
3.5 本章小结 | 第33-34页 |
第4章 传感头的设计及制备方法 | 第34-43页 |
4.1 引言 | 第34页 |
4.2 传感头的结构及制备材料的选取 | 第34-36页 |
4.2.1 传感头的基本结构 | 第34-35页 |
4.2.2 膜材料的选取 | 第35-36页 |
4.2.3 腔体的选取 | 第36页 |
4.3 传感头的制备 | 第36-42页 |
4.3.1 铝膜的制备 | 第36-39页 |
4.3.2 铝膜的低损耗转移 | 第39-40页 |
4.3.3 F-P腔的构建 | 第40-42页 |
4.4 本章小结 | 第42-43页 |
第5章 压力传感系统的测试结果及分析 | 第43-53页 |
5.1 引言 | 第43页 |
5.2 压力传感器系统图 | 第43-44页 |
5.3 传感系统自稳定方法的研究 | 第44-45页 |
5.4 滤波及放大电路对系统性能的影响 | 第45-49页 |
5.4.1 滤波放大电路的设计 | 第46-48页 |
5.4.2 加入滤波放大电路后对系统的影响 | 第48-49页 |
5.5 系统特性分析 | 第49-52页 |
5.5.1 不同频率的系统特性分析 | 第49-51页 |
5.5.2 不同分贝的系统特性分析 | 第51-52页 |
5.6 本章小结 | 第52-53页 |
结论 | 第53-54页 |
参考文献 | 第54-58页 |
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第58-59页 |
致谢 | 第59页 |