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高灵敏度光纤压力传感器的研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-18页
    1.1 光纤传感器概述第10-15页
        1.1.1 光纤传感器的分类第10-11页
        1.1.2 光纤EFPI膜片式压力传感器研究现状第11-15页
    1.2 光纤传感器应用的领域第15页
    1.3 课题研究背景及意义第15-16页
    1.4 本文的主要内容和章节安排第16-18页
第2章 基于F-P干涉理论的压力传感器的工作原理第18-24页
    2.1 引言第18页
    2.2 F-P传感器分类第18-19页
    2.3 膜片式光纤EFPI传感器的基本原理第19-23页
        2.3.1 膜片式光纤EFPI传感器的基本结构第19-20页
        2.3.2 F-P干涉仪的基本原理第20-23页
    2.4 本章小结第23-24页
第3章 膜片的形变原理及振动信号传感的数学模型第24-34页
    3.1 引言第24页
    3.2 膜片的形变原理第24-27页
    3.3 膜片的频响特性第27-29页
    3.4 干涉式压力传感信号的数学模型第29-33页
        3.4.1 干涉式压力信号传感结构第30页
        3.4.2 干涉仪式声音振动信号传感机理第30-33页
    3.5 本章小结第33-34页
第4章 传感头的设计及制备方法第34-43页
    4.1 引言第34页
    4.2 传感头的结构及制备材料的选取第34-36页
        4.2.1 传感头的基本结构第34-35页
        4.2.2 膜材料的选取第35-36页
        4.2.3 腔体的选取第36页
    4.3 传感头的制备第36-42页
        4.3.1 铝膜的制备第36-39页
        4.3.2 铝膜的低损耗转移第39-40页
        4.3.3 F-P腔的构建第40-42页
    4.4 本章小结第42-43页
第5章 压力传感系统的测试结果及分析第43-53页
    5.1 引言第43页
    5.2 压力传感器系统图第43-44页
    5.3 传感系统自稳定方法的研究第44-45页
    5.4 滤波及放大电路对系统性能的影响第45-49页
        5.4.1 滤波放大电路的设计第46-48页
        5.4.2 加入滤波放大电路后对系统的影响第48-49页
    5.5 系统特性分析第49-52页
        5.5.1 不同频率的系统特性分析第49-51页
        5.5.2 不同分贝的系统特性分析第51-52页
    5.6 本章小结第52-53页
结论第53-54页
参考文献第54-58页
攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果第58-59页
致谢第59页

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