| 致谢 | 第1-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-29页 |
| ·课题研究背景 | 第16-17页 |
| ·国内外的研究情况概述 | 第17-27页 |
| ·论文的主要研究内容和结构安排 | 第27-29页 |
| 第二章 基于矢量衍射理论的衍射波前质量分析 | 第29-43页 |
| ·基于矢量衍射理论的针孔衍射分析原理 | 第29-30页 |
| ·衍射波前误差分析流程 | 第30页 |
| ·基于 FDTD 算法的针孔衍射波前质量分析原理 | 第30-35页 |
| ·FDTD 概述 | 第30-34页 |
| ·网格数值色散 | 第34-35页 |
| ·稳定性分析 | 第35页 |
| ·近场推远场的表面等效定理 | 第35-38页 |
| ·Zernike 多项式拟合 | 第38-40页 |
| ·Gram - Schmidt 正交化方法求解 Zernike 系数 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 针孔衍射参考波前质量的 FDTD 分析 | 第43-60页 |
| ·针孔衍射波前仿真模型 | 第43-44页 |
| ·可见光针孔衍射波前的 FDTD 分析 | 第44-49页 |
| ·仿真参数及稳定性验证 | 第44-45页 |
| ·近场强度和相位分布 | 第45-46页 |
| ·针孔直径和厚度对衍射参考波前质量影响 | 第46-47页 |
| ·针孔材料对衍射参考波前质量影响 | 第47-48页 |
| ·照明光源像差对衍射参考波前质量影响 | 第48-49页 |
| ·深紫外波段针孔衍射波前的 FDTD 分析 | 第49-59页 |
| ·仿真参数及稳定性验证 | 第49-51页 |
| ·近场强度和相位分布 | 第51-52页 |
| ·针孔直径和厚度对衍射参考波前质量影响 | 第52-53页 |
| ·针孔材料对衍射参考波前质量影响 | 第53-54页 |
| ·针孔形状误差对衍射波前质量的影响 | 第54-55页 |
| ·照明光源参数对衍射参考波前质量影响 | 第55-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第四章 基于夏克-哈特曼传感器的波像差检测原理与方案 | 第60-74页 |
| ·Shack-Hartmann 传感器的发展及现状 | 第60-63页 |
| ·基于 Shack-Hartmann 的投影物镜系统波像差检测方案 | 第63-66页 |
| ·针孔阵列的设计 | 第66-73页 |
| ·针孔阵列中针孔直径 | 第67页 |
| ·针孔阵列中针孔间距设计 | 第67-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·论文研究总结 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录 | 第80-82页 |
| 攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况 | 第82-83页 |
