分子测量机宏微结合机构的原理分析与不确定度估计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| ·分子测量机的研究意义 | 第8-9页 |
| ·宏微结合机构的研究意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·微观表面测量仪器的发展过程 | 第10-13页 |
| ·宏微结合机构的发展过程 | 第13-15页 |
| ·主要研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 宏微结合机构的设计与优化 | 第16-34页 |
| ·宏微结合机构的设计方案 | 第16-17页 |
| ·X维微动机构的设计与优化 | 第17-27页 |
| ·传动机构的设计 | 第17-20页 |
| ·微动台模型的理论分析 | 第20-25页 |
| ·微动台的优化与仿真 | 第25-27页 |
| ·X维宏微结合机构的系统设计 | 第27-28页 |
| ·Z维机构的设计 | 第28-33页 |
| ·粗进给系统的设计 | 第28-31页 |
| ·总体机构的设计 | 第31-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 宏微机构的测量模型与误差模型 | 第34-40页 |
| ·基于多轴激光干涉仪系统的测量模型 | 第34-36页 |
| ·宏微结合机构的误差模型 | 第36-39页 |
| ·坐标转移矩阵的建立 | 第36-37页 |
| ·测端位置误差表达式的建立 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第4章 宏微机构的误差源分析与不确定度估计 | 第40-49页 |
| ·误差源分析 | 第40-45页 |
| ·定位误差 | 第40-42页 |
| ·测量光线与参考镜不垂直误差 | 第42-43页 |
| ·角运动误差 | 第43页 |
| ·垂直度误差 | 第43-44页 |
| ·环境误差 | 第44-45页 |
| ·同步测量的时间同步误差 | 第45页 |
| ·其它误差 | 第45页 |
| ·等作用原则的精度初步设计 | 第45-46页 |
| ·X轴精度设计 | 第46-48页 |
| ·阿贝误差 | 第46页 |
| ·测量光线与参考镜不垂直误差 | 第46-47页 |
| ·垂直度误差 | 第47页 |
| ·环境误差 | 第47-48页 |
| ·其它误差 | 第48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 微动台加工误差模型仿真 | 第49-74页 |
| ·双柔性平行四杆机构的参数化有限元模型 | 第49-51页 |
| ·双柔性平行四杆机构加工误差的影响分析 | 第51-73页 |
| ·铰链半径R的加工误差影响分析 | 第53-56页 |
| ·铰链最小厚度t的加工误差影响分析 | 第56-58页 |
| ·铰链臂长L的加工误差影响分析 | 第58-61页 |
| ·铰链切口轴心线绕质心Z轴的加工误差影响分析 | 第61-65页 |
| ·铰链切口轴心线绕X轴的加工误差影响分析 | 第65-69页 |
| ·铰链切口轴心线绕Y轴的加工误差影响分析 | 第69-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
