金属有机物化学气相沉积在线监测仪的研制
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·MOCVD 设备概述 | 第10页 |
| ·MOCVD 在线监测仪概述 | 第10-11页 |
| ·MOCVD 在线监测仪表的发展现状 | 第11-13页 |
| ·本文研究的内容和论文安排 | 第13-15页 |
| 2 MOCVD 在线监测仪系统设计 | 第15-19页 |
| ·MOCVD 腔体内结构 | 第15-17页 |
| ·在线监测仪的测量方案 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3 双波长红外测温 | 第19-58页 |
| ·红外测温原理 | 第19-25页 |
| ·双波长测温方案 | 第25-28页 |
| ·电路设计 | 第28-41页 |
| ·修正算法研究 | 第41-43页 |
| ·实验数据分析 | 第43-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 激光干涉膜厚测量 | 第58-70页 |
| ·干涉法测量膜厚原理 | 第58-62页 |
| ·电路设计 | 第62-68页 |
| ·实验数据分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 5 芯片翘曲度测量 | 第70-80页 |
| ·翘曲产生的原因 | 第70页 |
| ·翘曲度测量原理 | 第70-75页 |
| ·翘曲度测量电路设计 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 6 基于 ARM 的 uC/OS-Ⅱ 操作系统 | 第80-91页 |
| ·在线监测仪的功能要求 | 第80-81页 |
| ·uC/OS-Ⅱ 操作系统简介 | 第81-83页 |
| ·基于 ARM 的 uC/OS-Ⅱ 系统架构 | 第83-90页 |
| ·本章小结 | 第90-91页 |
| 7 总结与展望 | 第91-93页 |
| ·全文总结 | 第91-92页 |
| ·展望 | 第92-93页 |
| 致谢 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-98页 |
| 附录 科研成果说明 | 第98页 |
