硅片台系统动力学与控制联合仿真

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·课题的来源、背景及意义	第8-9页
·光刻机精密工作台的研究发展现状	第9-10页
·精密工作台控制策略研究现状	第10-11页
·联合仿真介绍	第11-12页
·主要研究内容	第12-13页
2 硅片台的结构	第13-20页
·前言	第13页
·光刻机硅片台的工作原理	第13-14页
·硅片台粗动台结构	第14-17页
·硅片台防漂移结构	第17-18页
·硅片台微动台结构	第18-19页
·本章小结	第19-20页
3 硅片台动力学模型	第20-30页
·引言	第20页
·硅片台动力学理论模型	第20-22页
·硅片台动力学建模	第22-29页
·小结	第29-30页
4 硅片台的运动控制	第30-46页
·引言	第30-31页
·硅片台的运动轨迹规划	第31-34页
·硅片台的控制策略	第34-45页
·小结	第45-46页
5 硅片台动力学与控制联合仿真	第46-57页
·引言	第46页
·联合仿真模型	第46-51页
·联合仿真结果	第51-56页
·小结	第56-57页
6 总结与展望	第57-59页
·全文总结	第57-58页
·研究展望	第58-59页
致谢	第59-60页
参考文献	第60-64页
附录 攻读学位期间发表学术论文目录	第64页