金属互连电迁移噪声非高斯性研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第一章 绪论	第8-10页
·研究背景	第8-9页
·论文结构	第9-10页
第二章 金属互连电迁移与噪声非高斯性基础	第10-22页
·电迁移现象与失效微观机理	第10-11页
·电迁移现象	第10页
·电迁移失效微观机理	第10-11页
·非高斯信号基础知识	第11-18页
·高斯分布与高斯过程	第11-13页
·高斯分布	第11-12页
·高斯分布律	第12-13页
·高斯过程	第13页
·信号偏离高斯性的评判方法	第13-15页
·高阶统计量方法	第15-18页
·噪声与非高斯性	第18-19页
·噪声非高斯性在电迁移研究中的意义	第19-22页
第三章 金属互连电迁移噪声非高斯性实验	第22-40页
·金属互连电迁移噪声测量	第22-25页
·金属铝互连电迁移噪声测量系统	第22页
·金属铝互连电迁移样品	第22-24页
·电迁移试验设计	第24-25页
·金属互连电迁移噪声的非高斯性	第25-30页
·电迁移过程中噪声统计直方图的变化	第25-28页
·与电子器件的噪声非高斯性比较	第28-30页
·用参量分析噪声非高斯性	第30-35页
·电迁移过程中的噪声双谱变化	第30-33页
·统计检验量T~2 的变化规律	第33-35页
·噪声非高斯参量与传统参量对比	第35-39页
·噪声非高斯参量与电阻的对比	第35-37页
·噪声非高斯参量与频率指数的对比	第37-39页
·小结	第39-40页
第四章 电迁移噪声非高斯性理论分析与讨论	第40-50页
·自由体积理论	第40-41页
·基于自由体积的电阻涨落的非高斯性分析	第41-46页
·空位扩散聚集阶段的噪声	第41-45页
·空洞成核及长大阶段的噪声变化	第45-46页
·讨论与小结	第46-50页
第五章 总结及展望	第50-52页
·论文成果	第50页
·后续研究方向	第50-51页
·展望	第51-52页
致谢	第52-54页
参考文献	第54-60页
作者在读期间的研究成果	第60页