| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·SIC 材料概述 | 第9-12页 |
| ·SIC 的性质 | 第12-14页 |
| ·SIC 的应用 | 第14-16页 |
| ·SIC 的研究现状 | 第16-19页 |
| ·论文的选题依据和研究目标 | 第19-21页 |
| 第二章 实验设备及其原理 | 第21-29页 |
| ·CVD 实验设备介绍 | 第21-23页 |
| ·化学气相沉积法简介 | 第23-25页 |
| ·实验方法 | 第25-27页 |
| ·SIC 薄膜的表征方法 | 第27-29页 |
| 第三章 SIC 薄膜气相生长研究 | 第29-49页 |
| ·SIC 薄膜的传统“二步工艺”生长 | 第29-39页 |
| ·改进的“二步工艺”生长SIC 薄膜 | 第39-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 SIC 薄膜的VLS 生长研究 | 第49-55页 |
| ·VLS 工艺简介 | 第49页 |
| ·SIC 薄膜的VLS 生长工艺研究 | 第49-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第61-62页 |