基于SAW原理的传感器技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题来源及目的和意义 | 第8-9页 |
| ·国内外对SAW传感器技术的研究历史与现状 | 第9-12页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第2章 SAW器件和传感器工作原理 | 第13-31页 |
| ·SAW的物理学原理和工作原理 | 第13-19页 |
| ·各向同性体中的声体波 | 第13-14页 |
| ·压电介质中的弹性波 | 第14-16页 |
| ·SAW器件的基本结构和特点 | 第16-18页 |
| ·SAW器件的工作原理 | 第18-19页 |
| ·SAW传感器的基本原理及分类 | 第19-29页 |
| ·SAW传感器的基本原理 | 第19-21页 |
| ·SAW传感器的分类 | 第21-25页 |
| ·SAW传感器应用举例 | 第25-28页 |
| ·SAW传感器发展成果总结 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 SAW传感器的材料与工艺 | 第31-39页 |
| ·基底材料的选择 | 第31-34页 |
| ·基底材料的种类 | 第31-33页 |
| ·基底材料的影响 | 第33-34页 |
| ·SAW传感器的加工工艺 | 第34-38页 |
| ·SAW器件加工工艺 | 第34-38页 |
| ·敏感薄膜的涂镀 | 第38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 SAW湿度传感器的设计 | 第39-53页 |
| ·湿度传感器概论 | 第39-40页 |
| ·SAW湿度传感器测量原理和系统结构 | 第40-41页 |
| ·SAW湿度传感器系统各部分的设计 | 第41-52页 |
| ·SAW延迟线的设计 | 第41-44页 |
| ·薄膜的设计 | 第44-47页 |
| ·频率计设计 | 第47-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 SAW湿度传感器性能分析与仿真 | 第53-66页 |
| ·ANSYS压电场分析原理 | 第53-56页 |
| ·分析前的准备工作 | 第56-58页 |
| ·分析方法的选择 | 第56页 |
| ·单元的选择 | 第56页 |
| ·压电分析材料特性输入要点 | 第56-58页 |
| ·分析过程与结果 | 第58-64页 |
| ·谐响应分析 | 第60页 |
| ·瞬态分析 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 附录1 单片机程序 | 第74-85页 |
| 附录2 CPLD各模块程序 | 第85-90页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第90页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第90页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第90-91页 |
| 致谢 | 第91页 |
