| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 1 绪论 | 第14-26页 |
| ·集成电路失效分析的重要性概述 | 第14页 |
| ·IC 失效分析概述 | 第14-26页 |
| ·EFA(电性故障分析)技术及原理 | 第15-18页 |
| ·PFA(物性故障分析)分析技术及原理 | 第18-22页 |
| ·本文研究目的和内容 | 第22-26页 |
| 2 传统IC 热点定位检测方法 | 第26-35页 |
| ·传统IC 热点检测方法 | 第26-28页 |
| ·SOC 等复杂结构逻辑芯片采用传统IC 热点检测方法失效原因对比分析 | 第28-34页 |
| ·问题关键因子描述 | 第28页 |
| ·对传统方法确认，排除干扰和失误因素的实验设计 | 第28-30页 |
| ·试验结果的分析和讨论 | 第30-31页 |
| ·验证传统EMMI/OBIRCH 定位失效根本原因的实验设计 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 新的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法 | 第35-49页 |
| ·新的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法 | 第35页 |
| ·新的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法的有效性验证 | 第35-47页 |
| ·对于有设计扫描链测试功能的具有复杂功能逻辑产品的失效样品实验设计 | 第37-45页 |
| ·对于设计有特定测试模式的逻辑芯片失效样品实验设计 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 4 新的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法的优化 | 第49-53页 |
| ·新优化的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法 | 第49页 |
| ·对新的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法优化前后对比研究和讨论 | 第49-50页 |
| ·优化后的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法的性能验证 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 5 新的动态EMMI/ OBIRCH 定位检测方法的应用 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 6 总结与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第60页 |
