| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 研究背景及目的意义 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究现状及分析 | 第17-28页 |
| 1.2.1 室内污染气体检测方法 | 第17-19页 |
| 1.2.2 MEMS 气体传感器 | 第19-20页 |
| 1.2.3 气体敏感材料 | 第20-22页 |
| 1.2.4 多孔 Al_2O_3阳极氧化技术 | 第22-25页 |
| 1.2.5 薄膜微加热器技术 | 第25-26页 |
| 1.2.6 微结构稳态温度梯度仿真 | 第26-28页 |
| 1.3 课题来源及本文研究的主要内容 | 第28-30页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第28页 |
| 1.3.2 本文研究的主要内容 | 第28-30页 |
| 第2章 微传感器结构设计与仿真分析 | 第30-54页 |
| 2.1 微传感器的构成及设计原则 | 第30-32页 |
| 2.1.1 微传感器的构成 | 第30-31页 |
| 2.1.2 传感器微热板的设计原则 | 第31-32页 |
| 2.1.3 微热板的设计指标 | 第32页 |
| 2.2 新型硅基芯片叠层结构设计 | 第32-37页 |
| 2.2.1 新型硅基芯片叠层结构 | 第32-33页 |
| 2.2.2 微热板的结构设计 | 第33-37页 |
| 2.3 传感器微热板热分析 | 第37-52页 |
| 2.3.1 一维稳态传热模型的建立 | 第37-38页 |
| 2.3.2 Al_2O_3/微加热器和信号电极/基片 | 第38-44页 |
| 2.3.3 微加热器和信号电极/Al_2O_3/基片 | 第44-47页 |
| 2.3.4 Al_2O_3/微加热器/基片 | 第47-51页 |
| 2.3.5 最佳微结构的优化 | 第51-52页 |
| 2.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第3章 芯片的工艺实现与微热板测试 | 第54-68页 |
| 3.1 关键技术分析 | 第54-56页 |
| 3.2 微传感器芯片的制作 | 第56-63页 |
| 3.3 芯片微热器的性能测试与分析 | 第63-67页 |
| 3.3.1 加热器薄膜的表征分析 | 第63页 |
| 3.3.2 微热器的热特性测试及分析 | 第63-67页 |
| 3.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第4章 中间层氧化铝膜的工艺实现与分析 | 第68-88页 |
| 4.1 铝膜的阳极氧化工艺过程 | 第68-70页 |
| 4.1.1 实验仪器 | 第68-69页 |
| 4.1.2 阳极氧化工艺过程 | 第69-70页 |
| 4.2 硅基面上形成铝膜的研究 | 第70-74页 |
| 4.2.1 磁控溅射法成膜的研究 | 第70-71页 |
| 4.2.2 真空蒸发法成膜的研究 | 第71-72页 |
| 4.2.3 膜表面表征及机理分析 | 第72-74页 |
| 4.3 纳米孔氧化铝的表征分析 | 第74-80页 |
| 4.3.1 溅射铝膜的阳极氧化表征分析 | 第74-77页 |
| 4.3.2 蒸发 Al 膜的阳极氧化表征分析 | 第77-80页 |
| 4.4 纳米孔氧化铝膜的形成机理 | 第80-84页 |
| 4.4.1 电流密度特征分析 | 第80-81页 |
| 4.4.2 氧化铝膜形成机理分析 | 第81-84页 |
| 4.5 介孔内生长敏感材料方法的研究 | 第84-86页 |
| 4.5.1 生长敏感材料的方法 | 第84-85页 |
| 4.5.2 超声波的作用 | 第85页 |
| 4.5.3 介孔内成长敏感材料的机理分析 | 第85-86页 |
| 4.6 本章小结 | 第86-88页 |
| 第5章 聚苯胺/无机物复合气敏材料的研究 | 第88-100页 |
| 5.1 聚苯胺的合成过程 | 第88-90页 |
| 5.2 敏感材料表征分析 | 第90-97页 |
| 5.2.1 扫描电镜表征分析 | 第90-94页 |
| 5.2.2 紫外光谱表征分析 | 第94-95页 |
| 5.2.3 热失重表征分析 | 第95-97页 |
| 5.3 聚苯胺基气敏材料的敏感原理 | 第97-98页 |
| 5.3.1 聚苯胺的敏感原理 | 第97-98页 |
| 5.3.2 聚苯胺基的敏感原理 | 第98页 |
| 5.4 本章小结 | 第98-100页 |
| 第6章 传感器特性测试与气敏机理探讨 | 第100-120页 |
| 6.1 传感器测试与实验方法 | 第100-101页 |
| 6.2 传感器性能测试与分析 | 第101-114页 |
| 6.2.1 对苯蒸汽的气敏性测试 | 第101-105页 |
| 6.2.2 对氨气的气敏性测试 | 第105-109页 |
| 6.2.3 对甲醛的气敏性测试 | 第109-114页 |
| 6.3 聚苯胺/无机物复合材料的气敏机理探讨 | 第114-118页 |
| 6.3.1 PANI/TiO_2对苯蒸汽的机理探讨 | 第114-116页 |
| 6.3.2 PANI/TiO_2对氨气的机理探讨 | 第116-117页 |
| 6.3.3 PANI/ZnO 对甲醛的机理探讨 | 第117-118页 |
| 6.4 本章小结 | 第118-120页 |
| 结论 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-132页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第132-134页 |
| 致谢 | 第134页 |
