| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第11-20页 |
| 1.1 有机薄膜晶体管的发展 | 第11-16页 |
| 1.1.1 有机薄膜晶体管在国外的研究概述 | 第11-13页 |
| 1.1.2 有机薄膜晶体管在国内的研究概述 | 第13-14页 |
| 1.1.3 有机薄膜晶体管的优点及应用领域 | 第14-15页 |
| 1.1.4 有机薄膜晶体管存在的问题及发展前景 | 第15-16页 |
| 1.2 有机薄膜晶体管气体传感器的研究概述 | 第16-17页 |
| 1.3 双层有机薄膜器件及气体传感器 | 第17-19页 |
| 1.3.1 双层有机薄膜器件的发展 | 第17-18页 |
| 1.3.2 双层敏感膜气体传感器 | 第18-19页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第19-20页 |
| 第二章 双层敏感膜OTFT气体传感器的基础理论 | 第20-29页 |
| 2.1 有机薄膜晶体管的基本结构 | 第20-23页 |
| 2.1.1 有机薄膜晶体管 | 第20-22页 |
| 2.1.2 双层敏感膜OTFT气体传感器 | 第22-23页 |
| 2.2 双层敏感膜OTFT气体传感器的材料 | 第23-25页 |
| 2.2.1 衬底材料 | 第23页 |
| 2.2.2 绝缘层材料 | 第23-24页 |
| 2.2.3 源/漏电极材料 | 第24页 |
| 2.2.4 有机半导体层材料 | 第24-25页 |
| 2.3 OTFT气体传感器的主要特性参数 | 第25-27页 |
| 2.3.1 载流子迁移率 μ | 第25-26页 |
| 2.3.2 开关电流比 | 第26页 |
| 2.3.3 阈值电压VT | 第26-27页 |
| 2.3.4 OTFT气体传感器的其他参数 | 第27页 |
| 2.4 OTFT气体传感器工作原理 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 双层敏感膜OTFT气体传感器的制备及测试 | 第29-38页 |
| 3.1 双层敏感膜OTFT气体传感器的结构及材料 | 第29页 |
| 3.2 双层敏感膜OTFT气体传感器的制备 | 第29-32页 |
| 3.2.1 绝缘层二氧化硅的制备 | 第29-30页 |
| 3.2.2 源/漏电极的制备 | 第30-32页 |
| 3.2.3 硅片的划片与封装 | 第32页 |
| 3.3 双层有机敏感膜的制备 | 第32-34页 |
| 3.3.1 MWCNT/α-6T双层膜的制备 | 第33-34页 |
| 3.3.2 F16CuPc/CuPc双层膜的制备 | 第34页 |
| 3.4 OTFT气体传感器的测试 | 第34-36页 |
| 3.4.1 OTFT气体传感器的电学特性测试 | 第34-35页 |
| 3.4.2 OTFT气体传感器的气敏特性测试 | 第35-36页 |
| 3.5 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 MWCNT/α-6T双层膜OTFT气体传感器的特性研究 | 第38-51页 |
| 4.1 不同MWCNT厚度OTFT器件的特性对比 | 第38-39页 |
| 4.2 MWCNT/α-6T双层膜与 α-6T单层膜OTFT器件的对比研究 | 第39-45页 |
| 4.2.1 薄膜的表面形貌对比研究 | 第39-40页 |
| 4.2.2 MWCNT/α-6T双层膜与 α-6T单层膜OTFT的电学特性对比 | 第40-42页 |
| 4.2.3 MWCNT/α-6T双层膜与 α-6T单层膜OTFT的气敏特性对比 | 第42-43页 |
| 4.2.4 MWCNT/α-6T双层膜与 α-6T单层膜OTFT的稳定性对比 | 第43-45页 |
| 4.3 基于MWCNT/α-6T双层膜OTFT对NO2的气敏特性研究 | 第45-50页 |
| 4.3.1 MWCNT/α-6T OTFT对微量NO2的敏感特性研究 | 第45-47页 |
| 4.3.2 基于多参数的双层膜OTFT对NO2气体的检测 | 第47-49页 |
| 4.3.3 MWCNT/α-6T OTFT气体传感器的选择性 | 第49-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 F_16CuPc/CuPc双层膜OTFT及传感器阵列的研究 | 第51-63页 |
| 5.1 F_16CuPc/CuPc双层膜OTFT气体传感器特性研究 | 第51-57页 |
| 5.1.1 不同CuPc厚度OTFT器件的电学特性对比 | 第51-53页 |
| 5.1.2 不同CuPc厚度OTFT器件的气敏特性对比 | 第53-57页 |
| 5.2 OTFT气体传感器阵列的初步研究 | 第57-62页 |
| 5.2.1 OTFT气体传感器阵列测试腔的设计 | 第57-58页 |
| 5.2.2 OTFT气体传感器阵列的敏感薄膜 | 第58-59页 |
| 5.2.3 OTFT气体传感器阵列特性参数的初步研究 | 第59-62页 |
| 5.3 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 6.1 结论 | 第63-64页 |
| 6.2 展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第72-73页 |
