GaSb薄膜掺杂及异质结的光学性质研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 引言 | 第8-11页 |
| 1.2 GaSb材料的结构特性及光学特性 | 第11-14页 |
| 1.3 GaSb薄膜掺杂及钝化的研究进展 | 第14-20页 |
| 1.3.1 GaSb薄膜掺杂的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.3.2 GaSb钝化的研究进展 | 第16-20页 |
| 1.4 本论文的选题依据和主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 GaSb半导体材料的光学性质 | 第21-33页 |
| 2.1 GaSb薄膜及其掺杂的缺陷模型 | 第21-26页 |
| 2.1.1 本征缺陷 | 第21-23页 |
| 2.1.2 浅掺杂杂质 | 第23-26页 |
| 2.1.3 深能级杂质 | 第26页 |
| 2.2 GaSb薄膜及其掺杂样品缺陷的表征方法 | 第26-28页 |
| 2.3 GaSb的钝化原理 | 第28-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 掺杂GaSb薄膜的光学性质研究 | 第33-41页 |
| 3.1 GaAs衬底上异质外延GaSb薄膜 | 第33-35页 |
| 3.1.1 样品制备方法简介及过程 | 第33-34页 |
| 3.1.2 GaSb薄膜的结构研究 | 第34-35页 |
| 3.2 GaSb薄膜的光学性质表征 | 第35-40页 |
| 3.3 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 GaSb异质结的带阶及光学性质研究 | 第41-54页 |
| 4.1 前言 | 第41-42页 |
| 4.2 样品制备 | 第42页 |
| 4.3 MgO干法钝化GaSb的XPS谱 | 第42-43页 |
| 4.4 MgO/GaSb异质结的带阶计算 | 第43-50页 |
| 4.5 MgO/GaSb异质结的光学性质 | 第50-53页 |
| 4.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 硕士期间论文发表情况 | 第60页 |
