单晶硅微裂纹的扫描电镜原位观察与应变场研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-8页
第一章 绪论	第8-20页
·引言	第8-9页
·单晶硅	第9-13页
·单晶硅简介	第9-11页
·单晶硅力学特性	第11-13页
·单晶硅微裂纹的研究现状	第13-15页
·应力应变的概念	第15-16页
·扫描电子显微镜	第16-18页
·研究目的和意义	第18-19页
·主要研究内容	第19-20页
第二章 实验方法与结果	第20-28页
·实验方法	第20-24页
·裂纹尖端的线弹性理论解	第20-22页
·样品的选择和制备	第22-23页
·原位拉伸实验装置	第23-24页
·实验结果	第24-28页
第三章 极值点对分析方法	第28-40页
·极值点对分析方法概述	第28-33页
·滤波的选择	第28页
·布拉格点的极值确定	第28-31页
·极值点对的确定	第31-33页
·应用极值点对分析方法计算单晶硅裂纹尖端应变场	第33-36页
·极值点对分析方法的实验结果和理论分析	第36-38页
·本章小结	第38-40页
第四章 几何相位分析方法	第40-50页
·几何相位分析方法概述	第40-43页
·几何相位像的概念	第40-41页
·相位像的重构	第41-42页
·位移场以及应变场的确定	第42-43页
·用几何相位分析方法计算单晶硅裂纹尖端应变场	第43-47页
·几何相位分析方法的实验结果和理论分析	第47-48页
·本章结论	第48-50页
第五章 结论	第50-52页
·极值点对分析方法与几何相位分析方法对比	第50页
·全文总结	第50-52页
参考文献	第52-56页
致谢	第56-57页
个人简历	第57页