MOCVD多通道高温测量系统的研制
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·MOCVD设备概述 | 第9-10页 |
| ·MOCVD高温测量系统概述 | 第10-11页 |
| ·发展现状与趋势 | 第11-12页 |
| ·高温测量系统市场前景 | 第12-13页 |
| ·研究内容与论文安排 | 第13-16页 |
| ·研究内容 | 第13-14页 |
| ·论文安排 | 第14-16页 |
| 第2章 高温测量系统总体设计 | 第16-37页 |
| ·红外测温原理及分类 | 第16-20页 |
| ·基本原理 | 第16-17页 |
| ·红外测温分类 | 第17-19页 |
| ·测温方法比较 | 第19-20页 |
| ·仪器测试方法 | 第20-22页 |
| ·高温测量系统需求分析 | 第22-23页 |
| ·电路设计方案 | 第23-28页 |
| ·光电转换(PIN) | 第24-26页 |
| ·信号处理电路 | 第26-27页 |
| ·通信接口电路 | 第27-28页 |
| ·光学系统的设计 | 第28-32页 |
| ·红外测温视场设计 | 第28-30页 |
| ·光学系统结构 | 第30-31页 |
| ·透镜仿真与设计 | 第31-32页 |
| ·系统软件设计 | 第32-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 高温测量系统标定方法 | 第37-41页 |
| ·单点标定方法 | 第37-38页 |
| ·两点标定法 | 第38-39页 |
| ·参数拟合法 | 第39页 |
| ·标定方法比较 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 测试数据分析 | 第41-49页 |
| ·黑体炉标定及验证 | 第41-44页 |
| ·单点标定及测试验证 | 第41-43页 |
| ·两点标定及测试验证 | 第43-44页 |
| ·探头标定 | 第44-47页 |
| ·最小二乘法线性拟合 | 第45页 |
| ·测试数据拟合 | 第45-47页 |
| ·设备平台标定 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 工作总结与展望 | 第49-52页 |
| ·项目总结 | 第49页 |
| ·工作展望 | 第49-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-55页 |
