| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| ·选题背景和应用价值 | 第9页 |
| ·测量透镜像差的干涉仪 | 第9-12页 |
| ·Twyman-Green干涉仪 | 第10页 |
| ·以中心光束为参考波面的干涉仪 | 第10-11页 |
| ·剪切干涉仪 | 第11-12页 |
| ·干涉条纹的相位测量技术 | 第12-14页 |
| ·相移法 | 第12页 |
| ·变换法 | 第12-13页 |
| ·其他算法 | 第13-14页 |
| ·由相位拟合波面的方法 | 第14-16页 |
| ·斜率法 | 第14页 |
| ·矩阵求逆法 | 第14-15页 |
| ·多项式法 | 第15-16页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第16-17页 |
| 2 波像差对图像的影响分析 | 第17-36页 |
| ·波像差和像差函数 | 第17-20页 |
| ·光线像差和波像差 | 第17-18页 |
| ·像差函数表达式 | 第18-20页 |
| ·光线像差的几何分析 | 第20-27页 |
| ·初级光线像差分析 | 第20-24页 |
| ·二级光线像差分析 | 第24-27页 |
| ·波像差的衍射模拟 | 第27-34页 |
| ·光学衍射模型 | 第27-29页 |
| ·衍射图像的模拟 | 第29-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 3 单个波像差的横向剪切干涉图特征 | 第36-51页 |
| ·光干涉的基本原理 | 第36-37页 |
| ·横向剪切干涉原理 | 第37-38页 |
| ·波像差与干涉条纹的关系 | 第38-39页 |
| ·含有不同像差的波面的剪切干涉图形 | 第39-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 Zernike多项式法求解波像差 | 第51-61页 |
| ·论文中采取的相位提取方法 | 第51-53页 |
| ·Zernike多项式求波像差的变换式 | 第53-56页 |
| ·Zernike多项式 | 第53页 |
| ·Zernike多项式的波面重构 | 第53-56页 |
| ·用模拟出的干涉图拟合波像差 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 测量透镜像差的快速方法 | 第61-71页 |
| ·位移定理 | 第61-62页 |
| ·初级像差求解算法 | 第62-66页 |
| ·初级像差干涉的相位差函数 | 第63-64页 |
| ·求解方法 | 第64-66页 |
| ·次级像差求解算法 | 第66-69页 |
| ·次级像差干涉的相位差函数 | 第66-67页 |
| ·相差解算方法 | 第67-69页 |
| ·算法验证 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 附录A Zernike多项式的前28项 | 第75-77页 |
| 附录B Zernike多项式拟合波面用到的矩阵M′_x | 第77-78页 |
| 附录C Zernike多项式拟合波面用到的矩阵M′_y | 第78-79页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第79-80页 |
| 致谢 | 第80-81页 |