提要 | 第1-6页 |
第一章 引言 | 第6-23页 |
·ZNO 材料的基本性质和研究现况 | 第6-12页 |
·MGZNO 合金材料的性质和研究进展 | 第12-23页 |
第二章 MGZNO 合金薄膜的制备技术及表征手段 | 第23-30页 |
·MGZNO 合金薄膜的制备技术 | 第23-25页 |
·MGZNO 合金薄膜的表征手段 | 第25-30页 |
第三章 N 掺杂P 型MGZNO 合金薄膜的研究 | 第30-50页 |
·样品的制备 | 第30-31页 |
·N 掺杂P 型MGZNO 合金薄膜的结构表征和性能研究 | 第31-39页 |
·氮分压对P 型MGZNO 合金薄膜结构和性能的影响机制 | 第39-46页 |
·用VEGARD 定律研究晶格常数随MG 含量X 的变化规律 | 第46-49页 |
·本章小结 | 第49-50页 |
第四章 溅射气氛对MGZNO 合金薄膜性质的影响 | 第50-61页 |
·AR/O_2 溅射气氛下MGZNO 合金薄膜的制备与性能研究 | 第50-54页 |
·O_2/N_2 溅射气氛下MGZNO 合金薄膜的制备与性能研究 | 第54-58页 |
·氧气对MGZNO 合金薄膜的MG 含量与性质的影响 | 第58-60页 |
·本章小结 | 第60-61页 |
第五章 结论 | 第61-63页 |
参考文献 | 第63-70页 |
发表文章目录 | 第70-71页 |
摘要 | 第71-74页 |
ABSTRACT | 第74-78页 |
致谢 | 第78-79页 |
导师及作者简介 | 第79页 |