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MgZnO合金薄膜材料的制备、结构及性能研究

提要第1-6页
第一章 引言第6-23页
   ·ZNO 材料的基本性质和研究现况第6-12页
   ·MGZNO 合金材料的性质和研究进展第12-23页
第二章 MGZNO 合金薄膜的制备技术及表征手段第23-30页
   ·MGZNO 合金薄膜的制备技术第23-25页
   ·MGZNO 合金薄膜的表征手段第25-30页
第三章 N 掺杂P 型MGZNO 合金薄膜的研究第30-50页
   ·样品的制备第30-31页
   ·N 掺杂P 型MGZNO 合金薄膜的结构表征和性能研究第31-39页
   ·氮分压对P 型MGZNO 合金薄膜结构和性能的影响机制第39-46页
   ·用VEGARD 定律研究晶格常数随MG 含量X 的变化规律第46-49页
   ·本章小结第49-50页
第四章 溅射气氛对MGZNO 合金薄膜性质的影响第50-61页
   ·AR/O_2 溅射气氛下MGZNO 合金薄膜的制备与性能研究第50-54页
   ·O_2/N_2 溅射气氛下MGZNO 合金薄膜的制备与性能研究第54-58页
   ·氧气对MGZNO 合金薄膜的MG 含量与性质的影响第58-60页
   ·本章小结第60-61页
第五章 结论第61-63页
参考文献第63-70页
发表文章目录第70-71页
摘要第71-74页
ABSTRACT第74-78页
致谢第78-79页
导师及作者简介第79页

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