半导体材料四探针测试仪中的自动控制技术与图象识别技术的应用
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| §1-1 四探针技术背景 | 第9-11页 |
| 1-1-1 概述 | 第9页 |
| 1-1-2 四探针技术的主要应用 | 第9-10页 |
| 1-1-3 四探针技术的研究现状和发展前景 | 第10-11页 |
| §1-2 测试仪总体概况 | 第11-12页 |
| 1-2-1 测量执行机构 | 第11页 |
| 1-2-2 主要技术构成 | 第11-12页 |
| §1-3 本论文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 四探针测试理论记要 | 第13-23页 |
| §2-1 各类四探针测试法简述 | 第13-16页 |
| 2-1-1 直线四探针法 | 第13-15页 |
| 2-1-2 方形四探针法 | 第15页 |
| 2-1-3 范德堡法 | 第15页 |
| 2-1-4 改进方法 | 第15-16页 |
| §2-2 四探针法的测准条件和修正问题 | 第16-20页 |
| 2-2-1 测准条件 | 第16-18页 |
| 2-2-2 修正问题 | 第18-20页 |
| §2-3 其它相关理论概述 | 第20-23页 |
| 2-3-1 探针游移对方形四探针测量的影响 | 第20页 |
| 2-3-2 非线性函数的规范化多项式拟合 | 第20-21页 |
| 2-3-3 电阻率测试中有限元法的应用 | 第21-23页 |
| 第三章 测试仪下位机电路设计 | 第23-36页 |
| §3-1 恒流源及电流数显电路 | 第23-29页 |
| 3-1-1 恒流源初选电路 | 第23-26页 |
| 3-1-2 恒流源最终电路 | 第26-27页 |
| 3-1-3 电流数显电路 | 第27-28页 |
| 3-1-4 恒流源性能总结和使用方法 | 第28-29页 |
| §3-2 多路通道开关电路 | 第29-30页 |
| §3-3 电压放大及A/D转换电路 | 第30-33页 |
| 3-3-1 电压放大电路设计 | 第30-32页 |
| 3-3-2 A/D 转换电路设计 | 第32-33页 |
| §3-4 单片机控制和上下位机通信电路 | 第33-35页 |
| 3-4-1 硬件电路 | 第33-34页 |
| 3-4-2 单片机软件设计 | 第34-35页 |
| §3-5 电源电路 | 第35页 |
| §3-6 小结 | 第35-36页 |
| 第四章 测试仪上位机软件设计和图象识别技术的应用 | 第36-42页 |
| §4-1 上位机软件界面及其使用方法 | 第36-39页 |
| 4-1-1 主控操作对话框 | 第36-37页 |
| 4-1-2 采集数据对话框 | 第37-38页 |
| 4-1-3 数据处理对话框 | 第38-39页 |
| §4-2 上位机软件VC++编程总述 | 第39页 |
| §4-3 图象识别技术的应用 | 第39-42页 |
| 4-3-1 探针的定位 | 第40-41页 |
| 4-3-2 探针的调整 | 第41-42页 |
| 第五章 测试仪使用方法及注意事项 | 第42-44页 |
| §5-1 使用方法 | 第42-43页 |
| §5-2 注意事项 | 第43-44页 |
| 第六章 结论 | 第44-46页 |
| §6-1 数据处理 | 第44页 |
| §6-2 性能总结 | 第44-45页 |
| §6-3 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 附录A | 第48-50页 |
| 致谢 | 第50-51页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果 | 第51页 |
