| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| 1．1 论文的选题背景及来源 | 第8-12页 |
| 1．1．1 硅片传输机器人概述 | 第8-9页 |
| 1．1．2．硅片自动传输技术的发展 | 第9页 |
| 1．1．3 硅片传输机器人的现状 | 第9-12页 |
| 1．1．4 硅片传输机器人研究的必要性 | 第12页 |
| 1．2 论文的主要研究内容 | 第12-14页 |
| 第二章 硅片传输机器人的总体方案设计 | 第14-26页 |
| 2．1 硅片传输机器人本体选型 | 第14-15页 |
| 2．1．1 机器人操作机的分类 | 第14-15页 |
| 2．2 硅片传输机器人的分类 | 第15-19页 |
| 2．2．1 SCARA(平面关节型)机器人的特点 | 第15-17页 |
| 2．2．2 R-0(极坐标)型机器人的特点 | 第17-18页 |
| 2．2．3 R-0(极坐标)型机器人与SCARA(平面关节型)机器人的比较 | 第18页 |
| 2．2．4 硅片传输机器人本体类型的确定 | 第18-19页 |
| 2．3 控制系统选型 | 第19-20页 |
| 2．3．1 控制器 | 第19-20页 |
| 2．3．2 PMAC运动控制卡 | 第20页 |
| 2．4 硅片传输机器人驱动系统 | 第20-24页 |
| 2．5．硅片传输机器人总体方案 | 第24-26页 |
| 2．5．1 硅片传输机器人的整体方案 | 第24-25页 |
| 2．5．2 硅片传输机器人的技术指标 | 第25-26页 |
| 第三章 硅片传输机器人的机械本体设计 | 第26-44页 |
| 3．1 径向直线伸缩运动的运动学与动力学分析 | 第26-32页 |
| 3．1．1 径向直线伸缩部件传动模型的建立 | 第26-29页 |
| 3．1．2 机器人手臂的动力学分析方法研究 | 第29-32页 |
| 3．2 径向直线伸缩运动部件的设计 | 第32-35页 |
| 3．2．1 径向伸缩部件的机构设计 | 第32-33页 |
| 3．2．2 径向直线伸缩运动部件的设计原则 | 第33-35页 |
| 3．3 径向伸缩部件的机构设计特点 | 第35-39页 |
| 3．3．1 旋转阀内部走线 | 第35-36页 |
| 3．3．2 胀套连接 | 第36-37页 |
| 3．3．3 采用交叉滚子轴承 | 第37页 |
| 3．3．4 前、后臂体轴承孔距一致性的工艺方法 | 第37-39页 |
| 3．4 升降旋转部件 | 第39-44页 |
| 3．4．1 升降，旋转运动的实现 | 第39-40页 |
| 3．4．2 改进的升降旋转部件设计 | 第40-41页 |
| 3．4．3 滚珠丝杠花键轴的选用 | 第41-42页 |
| 3．4．4 滚珠丝杠花键轴旋转控制程序的实现 | 第42-44页 |
| 第四章 硅片传输机器人的控制方案设计 | 第44-55页 |
| 4．1 伺服系统与机器人控制 | 第44页 |
| 4．2 硅片传输机器人控制系统的设计要求 | 第44-45页 |
| 4．2．1 硅片传输机器人控制系统的性能指标 | 第45页 |
| 4．3 总体设计方案的设计 | 第45-55页 |
| 4．3．1 基于PC的运动控制器 | 第46-48页 |
| 4．3．2 伺服系统的确定 | 第48-50页 |
| 4．3．3 电机控制模式选择 | 第50-52页 |
| 4．3．4 PMAC对伺服电机的控制 | 第52页 |
| 4．4．5 硅片传输机器人的气动控制回路 | 第52-55页 |
| 第五章 硅片传输机器人的硬件调试及运动控制软件设计 | 第55-68页 |
| 5．1 PMAC板的参数设置 | 第55-56页 |
| 5．2 PID调试 | 第56-65页 |
| 5．2．1 伺服系统PID参数的设置 | 第56-59页 |
| 5．2．2 PMAC板中对PID基本参数整定 | 第59-61页 |
| 5．2．3 前馈控制参数整定 | 第61-65页 |
| 5．3 基于PMAC的硅片传输机器人的运动控制系统软件开发研究 | 第65-68页 |
| 5．3．1 运动控制程序的工作流程图 | 第66-68页 |
| 第六章 结论与展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 附录 | 第72-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文及申报专利情况 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
