晶体生长超低速控制技术的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-17页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第13-14页 |
| ·研究的背景 | 第13-14页 |
| ·研究的意义 | 第14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-16页 |
| ·本课题的研究内容 | 第16页 |
| ·论文内容及安排 | 第16-17页 |
| 第二章 系统总体方案设计 | 第17-31页 |
| ·激光晶体生长工艺特点 | 第17-19页 |
| ·上称重法自动直径控制方案选择 | 第19-22页 |
| ·晶体直径的控制原理 | 第19-20页 |
| ·上称重法自动直径控制原理 | 第20-22页 |
| ·系统主被控对象特性分析 | 第22-23页 |
| ·双闭环串级控制系统分析 | 第23-25页 |
| ·串级控制系统结构确定 | 第25-27页 |
| ·控温系统控制回路的确立 | 第27页 |
| ·系统硬件选择与设计 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 等径生长控制技术 | 第31-57页 |
| ·晶体生长运动装置低速控制 | 第31-47页 |
| ·晶体生长超低速运行理论分析 | 第31-41页 |
| ·超低速运动提拉装置的系统设计 | 第41-47页 |
| ·基于生长模型的称重控制技术 | 第47-53页 |
| ·上称重自动控制原理设计 | 第48-49页 |
| ·上称重法自动直径控制系统机械设计 | 第49-51页 |
| ·关键器件选型 | 第51-52页 |
| ·影响上称重法自动直径控制的因素及其解决措施 | 第52-53页 |
| ·晶体生长环境的温度控制技术 | 第53-55页 |
| ·晶体生长温度控制原理 | 第53-54页 |
| ·温度控制系统组成 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 晶体生长系统可视化研究 | 第57-71页 |
| ·晶体结晶过程分析 | 第57-63页 |
| ·晶体生长能量守恒方程 | 第57-59页 |
| ·晶体直径控制 | 第59页 |
| ·晶体的极限生长速率 | 第59-60页 |
| ·放肩阶段 | 第60-61页 |
| ·晶体半径的响应方程 | 第61-62页 |
| ·晶体工艺参数的影响 | 第62-63页 |
| ·晶体生长模型建立 | 第63-64页 |
| ·晶体生长系统可视化实现 | 第64-69页 |
| ·OpenGL软件简介 | 第64-65页 |
| ·晶体三维图形绘制原理和方法 | 第65-67页 |
| ·程序模块设计及实现 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 系统性能测试 | 第71-79页 |
| ·采集系统结构设计 | 第71-76页 |
| ·通用组态软件简介 | 第72页 |
| ·晶体生长人机界面设计 | 第72-76页 |
| ·晶体生长过程数据分析 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-79页 |
| 第六章 总结及展望 | 第79-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 致谢 | 第85-87页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第87-89页 |
| 导师和作者简介 | 第89-90页 |
| 北京化工大学硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第90-91页 |
