声表面波气体传感器的性能研究与验证
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·研究课题背景 | 第8-9页 |
| ·SAW传感器研究情况 | 第9-11页 |
| ·SAW传感器发展历程 | 第9-10页 |
| ·国外SAW传感器研究现状 | 第10页 |
| ·国内SAW传感器研究现状 | 第10-11页 |
| ·SAW传感器研究趋势 | 第11页 |
| ·论文工作的目的 | 第11-12页 |
| ·论文的结构安排 | 第12-13页 |
| 第二章 SAW传感器的基本理论 | 第13-26页 |
| ·声表面波基本原理 | 第13-17页 |
| ·各向异性压电基体上的瑞利波 | 第17-19页 |
| ·压电材料中SAW激励和接收 | 第19页 |
| ·叉指换能器 | 第19-23页 |
| ·叉指换能器基本性质 | 第19-22页 |
| ·叉指换能器的加权 | 第22-23页 |
| ·叉指换能器的二阶效应 | 第23-25页 |
| ·叉指电极的反射效应 | 第23-24页 |
| ·压电再生效应 | 第24页 |
| ·体波的激发效应 | 第24-25页 |
| ·本章总结 | 第25-26页 |
| 第三章 SAW传感器器件的设计 | 第26-40页 |
| ·SAW传感器基片材料的选择 | 第26-28页 |
| ·SAW传感器振荡器选择 | 第28-30页 |
| ·叉指换能器电极材料的选择 | 第30-31页 |
| ·双通道传感器结构 | 第31页 |
| ·SAW传感器加工工艺 | 第31-39页 |
| ·SAW器件加工工艺 | 第32-38页 |
| ·敏感薄膜的涂覆 | 第38-39页 |
| ·本章总结 | 第39-40页 |
| 第四章 SAW传感器性能测试 | 第40-50页 |
| ·SAW传感器吸附气体原理 | 第40-41页 |
| ·SAW传感器性能指标与敏感膜的关系 | 第41-43页 |
| ·敏感膜与传感器的选择性关系 | 第41-42页 |
| ·敏感膜与传感器的可逆性和稳定性关系 | 第42页 |
| ·敏感膜与传感器的响应时间关系 | 第42页 |
| ·敏感膜与传感器性能其他关系 | 第42-43页 |
| ·SAW传感器NO2气体测试 | 第43-49页 |
| ·SAW传感器测试步骤 | 第43-46页 |
| ·SAW传感器测试结果与分析 | 第46-49页 |
| ·本章总结 | 第49-50页 |
| 第五章 课题总结与展望 | 第50-51页 |
| ·论文工作总结 | 第50页 |
| ·未来研究展望 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第57页 |
