酞菁类声表面波气体传感器研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第一章 绪论	第9-20页
·传感器概述	第10页
·气体传感器	第10-19页
·声表面波气体传感器概述	第11-13页
·声表面波气体传感器的发展状况	第13页
·声表面波气体传感器的工作机理	第13-17页
·敏感薄膜与传感器特性之间的关系	第17-19页
·论文的组织结构	第19-20页
第二章 声表面波传感器器件的分析	第20-34页
·晶体的介电性	第20-22页
·极化强度	第20-22页
·介电关系	第22页
·压电晶体的压电性	第22-25页
·正压电效应的数学表达式	第22-24页
·逆压电效应的数学表达式	第24-25页
·机电耦合系数	第25页
·声表面波的发生和接收"器官"—叉指形换能器	第25-33页
·声表面波是怎样产生和接收的	第26-27页
·叉指换能器的基本特性	第27-28页
·IDT的制造过程简介	第28-33页
·本章小结	第33-34页
第三章 气体敏感薄膜的研究	第34-49页
·敏感薄膜材料研究	第34-37页
·敏感薄膜材料研究进展	第34-35页
·敏感膜材料的成膜方法	第35-37页
·有机半导体材料:酞菁类	第37-40页
·酞菁类的基本结构研究	第37-38页
·酞菁气体传感器	第38-40页
·酞菁真空热蒸发镀膜	第39-40页
·酞菁类涂敷薄膜	第40页
·酞菁类吸附NO_2的气敏机理	第40-41页
·实验与测量	第41-46页
·真空镀膜技术	第41-43页
·涂膜技术	第43-46页
·薄膜性能分析	第46-47页
·本章小结	第47-49页
第四章 总结与展望	第49-52页
·论文的工作总结	第49-50页
·未来的展望	第50-52页
参考文献	第52-56页
攻读硕士学位期间发表论文情况	第56-57页
致谢	第57-58页